• 人民日报为人民,70年办报不容易,办报人付出了心血和汗水,记录了中国的发展过程,祝愿办得越来越好! 2019-07-20
  • 最美逆行!高速隧道突发火灾  交警三次逆行穿火线撤离400多名群众 2019-07-17
  • 《陕西省县域经济社会发展监测考评办法》解读 2019-07-17
  • 一切都是老板炒工人的鱿鱼 2019-07-14
  • 赏花不用跑远 宗角禄康开得正艳 2019-07-14
  • 车俊会见毛里求斯代总统 2019-07-14
  • 除了杨崇勇,“2亿元贪官俱乐部”至少还有这些人 2019-07-09
  • [民生热线]咸安西大街烤鸭店每天油烟扰民 区政府:已责令整改 2019-07-09
  • 海淀:得天独厚的自然条件 2019-07-09
  • 进京通行证限次数!70.9万辆本地化使用外埠号牌车或将受影响 2019-07-06
  • 6月14日凤凰直通车:茅台再开市场化招聘大门,32个部门要285人葡萄 种植 2019-07-05
  • 东京湾产业转型启示录 2019-07-05
  • 中国三星获第十二届人民企业社会责任奖年度扶贫奖 2019-06-30
  • 一个语文基础都没有的人就喜欢指手画脚, 2019-06-30
  • 匹夫有责之一百一十二—道义大义的博客—强国博客—人民网 2019-06-25
    • / 6
    • 下载费用:20 金币  

    广西11选5现在走势图: 一种高透薄膜的制备方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201310548946.7

    申请日:

    2013.11.07

    公开号:

    CN103643208A

    公开日:

    2014.03.19

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 登录超时
    IPC分类号: C23C14/35; C23C14/08; C23C14/14; B32B9/04; B32B15/04 主分类号: C23C14/35
    申请人: 中山市创科科研技术服务有限公司
    发明人: 陈路玉
    地址: 528400 广东省中山市火炬开发区创业大厦229号
    优先权:
    专利代理机构: 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 代理人: 吴剑锋
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201310548946.7

    授权公告号:

    法律状态公告日:

    2018.11.29

    法律状态类型:

    登录超时

    摘要

    本发明公开了一种高透薄膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:A、直流电源溅射Nb平面靶,在透明耐热玻璃基板上磁控溅射Nb2O5层;B、交流电源溅射氧化钛陶瓷旋转靶,在Nb2O5层上磁控溅射TiO2层;C、交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷靶旋转靶,在TiO2层上磁控溅射AZO层;D、直流电源溅射银平面靶,在AZO层上磁控溅射Ag层;E、直流电源溅射NiCr合金平面靶,在Ag层上磁控溅射NiCr层;F、交流电源溅射氧化钛陶瓷旋转靶,在NiCr层上磁控溅射TiO2层。本发明的目的是为了克服现有技术中的不足之处,提供一种工艺简单,操作方便,生产成本相对较低的高透薄膜的制备方法。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种高透薄膜的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
    A、采用氧气作为反应气体,氩气作为?;て?,直流电源溅射Nb平面靶,在透明耐热玻璃基板上磁控溅射Nb2O5层;
    B、采用氩气作为反应气体,交流电源溅射氧化钛陶瓷旋转靶,在步骤A中Nb2O5层上磁控溅射TiO2层;
    C、采用氩气作为反应气体,交流电源溅射掺铝氧化锌陶瓷靶旋转靶,在步骤B中的TiO2层上磁控溅射AZO层;
    D、采用氩气作为反应气体,直流电源溅射银平面靶,在步骤C中的AZO层上磁控溅射Ag层;
    E、采用氩气作为反应气体,直流电源溅射NiCr合金平面靶,在步骤D中的Ag层上磁控溅射NiCr层;
    F、采用氩气作为反应气体,交流电源溅射氧化钛陶瓷旋转靶,在步骤E中的NiCr层上磁控溅射TiO2层。

    2.  根据权利要求1所述的一种高透薄膜的制备方法,其特征在于步骤A中所述Nb2O5层的厚度为20~30nm,氩气与氧气的体积比为1:3,溅射压力2.5*10-3mbar,所述直流电源的溅射功率为30~45KW。

    3.  根据权利要求1所述的一种高透薄膜的制备方法,其特征在于步骤B中所述TiO2层的厚度为8~15nm,所述交流电源的溅射功率40~75KW。

    4.  根据权利要求1所述的一种高透薄膜的制备方法,其特征 在于步骤C中所述AZO层的厚度为20~25nm,所述的交流电源的溅射功率20~25KW。

    5.  根据权利要求1所述的一种高透薄膜的制备方法,其特征在于步骤D所述Ag层的厚度为8~10nm,所述直流电源的溅射功率3~6KW。

    6.  根据权利要求1所述的一种高透薄膜的制备方法,其特征在于步骤E中所述NiCr层的厚度为2~3nm,所述NiCr合金中Ni:Cr的摩尔比21:79,所述直流电源的溅射功率2~3KW。

    7.  根据权利要求1所述的一种高透薄膜的制备方法,其特征在于F中所述TiO2层的厚度为20~30nm,所述交流电源的溅射功率为100~150KW,其中包括两个阴极溅射,每个阴极50~75KW。

    关 键 词:
    一种 薄膜 制备 方法
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:一种高透薄膜的制备方法.pdf
    链接地址://www.fnjpv.tw/p-4928354.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.fnjpv.tw网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 人民日报为人民,70年办报不容易,办报人付出了心血和汗水,记录了中国的发展过程,祝愿办得越来越好! 2019-07-20
  • 最美逆行!高速隧道突发火灾  交警三次逆行穿火线撤离400多名群众 2019-07-17
  • 《陕西省县域经济社会发展监测考评办法》解读 2019-07-17
  • 一切都是老板炒工人的鱿鱼 2019-07-14
  • 赏花不用跑远 宗角禄康开得正艳 2019-07-14
  • 车俊会见毛里求斯代总统 2019-07-14
  • 除了杨崇勇,“2亿元贪官俱乐部”至少还有这些人 2019-07-09
  • [民生热线]咸安西大街烤鸭店每天油烟扰民 区政府:已责令整改 2019-07-09
  • 海淀:得天独厚的自然条件 2019-07-09
  • 进京通行证限次数!70.9万辆本地化使用外埠号牌车或将受影响 2019-07-06
  • 6月14日凤凰直通车:茅台再开市场化招聘大门,32个部门要285人葡萄 种植 2019-07-05
  • 东京湾产业转型启示录 2019-07-05
  • 中国三星获第十二届人民企业社会责任奖年度扶贫奖 2019-06-30
  • 一个语文基础都没有的人就喜欢指手画脚, 2019-06-30
  • 匹夫有责之一百一十二—道义大义的博客—强国博客—人民网 2019-06-25
  • pc蛋蛋走势图500 皇家赛马闯关 哈尔滨麻将官网 卡利亚里足球俱乐部 北京pk10预测 发财神客服 排球比分视频 七星彩走势图带连线图 汉诺威96阵容 2014拜仁vs门兴