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    广西11选5第17021231期: 不良芯粒标记装置及方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201610802633.3

    申请日:

    2016.09.05

    公开号:

    CN106312322A

    公开日:

    2017.01.11

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/352申请日:20160905|||公开
    IPC分类号: B23K26/352(2014.01)I; B23K26/70(2014.01)I 主分类号: B23K26/352
    申请人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
    发明人: 王焱华; 何江玲; 江星; 庄昌辉; 曾威; 尹建刚; 高云峰
    地址: 518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号大族激光大厦
    优先权:
    专利代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 余哲玮
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610802633.3

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.02.08|||2017.01.11

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种不良芯粒标记装置及方法。不良芯粒标记装置包括:载台,所述载台用于承载多个芯粒;激光打标机构,正对于所述载台,所述激光打标机构包括激光发生器、振镜及聚焦镜;其中,多个所述芯??删远庋Ъ觳庖匀范ú涣夹玖5奈恢?,所述激光发生器能够发出激光,所述激光发生器发出的激光经过所述振镜的调节将激光聚焦点移至所述不良芯粒的位置,并通过所述聚焦镜的聚焦,以对所述不良芯粒进行打标。上述不良芯粒标记装置及方法,能够对不良芯粒进行激光打标,使得不良芯粒容易被终端客户识别和辨认,解决了传统的晶圆片制程领域圆片中不良芯粒无法识别的问题,提高了圆片的利用效率。

    权利要求书

    1.一种不良芯粒标记装置,其特征在于,包括:
    载台,所述载台用于承载多个芯粒;
    激光打标机构,正对于所述载台,所述激光打标机构包括激光发生器、振镜及聚焦镜;
    其中,多个所述芯??删远庋Ъ觳庖匀范ú涣夹玖5奈恢?,所述激光发生器
    能够发出激光,所述激光发生器发出的激光经过所述振镜的调节将激光聚焦点移至所述不
    良芯粒的位置,并通过所述聚焦镜的聚焦,以对所述不良芯粒进行打标。
    2.一种不良芯粒标记方法,其特征在于,包括以下步骤:
    提供权利要求1所述的不良芯粒标记装置;
    获取经过全自动光学检测的所述不良芯粒的位置信息;
    所述激光发生器发出激光,所述激光发生器发出的激光经过所述振镜的调节将激光聚
    焦点移至所述不良芯粒的位置,并通过所述聚焦镜的聚焦,以对所述不良芯粒进行打标。
    3.根据权利要求2所述的不良芯粒标记方法,其特征在于,在所述获取经过全自动光学
    检测的所述不良芯粒的位置信息的步骤之前,还包括步骤:
    通过全自动光学检测多个所述芯粒,以确定所述不良芯粒,并确定所述不良芯粒的位
    置信息。
    4.根据权利要求3所述的不良芯粒标记方法,其特征在于,在所述获取经过全自动光学
    检测的所述不良芯粒的位置信息的步骤之前,还包括步骤:
    再次对多个所述芯粒进行扫描以确定所述不良芯粒的位置信息。
    5.根据权利要求2所述的不良芯粒标记方法,其特征在于,所述不良芯粒的位置信息为
    所述不良芯粒的坐标值。
    6.根据权利要求2所述的不良芯粒标记方法,其特征在于,所述激光发生器发出激光为
    紫外激光,波长为355nm,单点能量范围是1~100uj。
    7.根据权利要求2所述的不良芯粒标记方法,其特征在于,对所述不良芯粒进行打标的
    方式为对所述不良芯粒的电极进行打标。
    8.根据权利要求2所述的不良芯粒标记方法,其特征在于,多个所述芯粒均贴合于蓝膜
    上,并通过所述蓝膜放置于所述载台上。

    关 键 词:
    不良 标记 装置 方法
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