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    查广西11选5开奖公告: 一种激光加工孔的方法以及系统.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201610880794.4

    申请日:

    2016.10.09

    公开号:

    CN106312333A

    公开日:

    2017.01.11

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):B23K 26/382申请公布日:20170111|||实质审查的生效IPC(主分类):B23K 26/382申请日:20161009|||公开
    IPC分类号: B23K26/382(2014.01)I; B23K26/073; B23K26/082(2014.01)I; B23K26/0622(2014.01)I; B23K26/064(2014.01)I 主分类号: B23K26/382
    申请人: 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所
    发明人: 张晓兵; 蔡敏; 纪亮; 张伟
    地址: 100024 北京市朝阳区八里桥北东军庄1号
    优先权:
    专利代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 汤在彦
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610880794.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.07.10|||2017.02.08|||2017.01.11

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种激光加工孔的方法以及系统,涉及激光材料加工技术领域。所述方法包括:激光源沿传导光路中心轴输出激光束;所述激光束入射至围绕所述传导光路中心轴旋转的激光偏轴装置;所述激光偏轴装置将所述激光束以一偏离半径偏离所述传导光路中心轴,形成圆环光斑;所述圆环光斑入射至扫描振镜;所述扫描振镜装置将所述圆环光斑围绕一聚焦镜的中心轴旋转,形成多个同心圆的轨迹;所述轨迹聚焦后用于扫描被加工的孔至一目标孔径,所述目标孔径是预先设定的。该方法提高了激光制孔的效率、减小焦点位置变化或壁厚变化对孔径的影响、提高了孔径的一致性。

    权利要求书

    1.一种激光加工孔的系统,其特征是,所述系统包括:
    激光源,用于沿传导光路中心轴输出激光束,所述激光束入射至围绕所述传导光路中
    心轴旋转的激光偏轴装置;
    所述激光偏轴装置,用于将所述激光束以一偏离半径偏离所述传导光路中心轴,形成
    圆环光斑,所述圆环光斑入射至扫描振镜装置;
    所述扫描振镜装置,用于将所述圆环光斑围绕一聚焦镜的中心轴旋转,形成多个同心
    圆的轨迹,所述轨迹聚焦后用于扫描被加工的孔至一目标孔径,所述目标孔径是预先设定
    的。
    2.根据权利要求1所述的系统,其特征是,所述激光束为飞秒激光或纳秒激光或皮秒激
    光。
    3.根据权利要求1所述的系统,其特征是,所述激光偏轴装置包括电机以及楔形镜组,
    所述楔形镜组由两个间距可调的楔形镜组成。
    4.根据权利要求1所述的系统,其特征是,所述激光偏轴装置包括电机以及楔形镜组,
    所述楔形镜组由两个楔形镜组成,两个楔形镜之间的间距固定。
    5.根据权利要求1所述的系统,其特征是,所述激光偏轴装置包括电机以及方形棱镜,
    所述方形棱镜的倾斜角度可变。
    6.根据权利要求3或4或5所述的系统,其特征是,所述扫描振镜装置包括电机、X-Y扫描
    振镜以及控制???,
    所述电机,用于带动所述X-Y扫描振镜,以使所述激光束围绕所述聚焦镜的中心轴旋
    转;
    所述控制???,用于调整所述X-Y扫描振镜,以调整同心圆的半径。
    7.根据权利要求6所述的系统,其特征是,所述同心圆的最大半径取决于所述目标孔
    径,所述同心圆的最小半径大于等于0.05mm,小于等于0.15mm,相邻同心圆之间的间距大于
    等于0.03mm,小于等于0.05mm。
    8.一种通过如权利要求1至7任意一项所述的激光加工孔的系统加工孔的方法,其特征
    是,所述方法包括:
    激光源沿传导光路中心轴输出激光束;
    所述激光束入射至围绕所述传导光路中心轴旋转的激光偏轴装置;
    所述激光偏轴装置将所述激光束以一偏离半径偏离所述传导光路中心轴,形成圆环光
    斑;
    所述圆环光斑入射至扫描振镜装置;
    所述扫描振镜装置将所述圆环光斑围绕一聚焦镜的中心轴旋转,形成多个同心圆的轨
    迹;
    所述轨迹聚焦后用于扫描被加工的孔至一目标孔径,所述目标孔径是预先设定的。
    9.根据权利要求8所述的方法,其特征是,所述扫描振镜装置包括电机、X-Y扫描振镜以
    及控制???,
    所述电机,用于带动所述X-Y扫描振镜,以使激光束围绕所述聚焦镜的中心轴旋转;
    所述控制???,用于调整所述X-Y扫描振镜,以调整同心圆的半径。
    10.根据权利要求9所述的方法,其特征是,所述同心圆的最大半径取决于所述目标孔
    径,所述同心圆的最小半径大于等于0.05mm,小于等于0.15mm,相邻同心圆之间的间距大于
    等于0.03mm,小于等于0.05mm。
    11.根据权利要求10所述的方法,其特征是,所述方法还包括:
    当所述被加工的小孔已穿透但未达到目标孔径时,所述控制??榈髡鯴-Y扫描振
    镜,以使得所述轨迹由半径为最大半径以及最大半径减去间距的同心圆组成。
    12.根据权利要求10所述的方法,其特征是,所述方法还包括:
    当所述被加工的小孔已穿透但未达到目标孔径时,所述控制??榈髡鯴-Y扫描振
    镜,以使得所述轨迹由半径为最大半径、最大半径减去间距以及最大半径减去二倍的间距
    的同心圆组成。

    关 键 词:
    一种 激光 加工 方法 以及 系统
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