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    广西11选5计划群: 靶材组件的加工方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510330401.8

    申请日:

    2015.06.15

    公开号:

    CN106312565A

    公开日:

    2017.01.11

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):B23P 23/04申请日:20150615|||公开
    IPC分类号: B23P23/04 主分类号: B23P23/04
    申请人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
    发明人: 姚力军; 潘杰; 相原俊夫; 大岩一彦; 王学泽; 段高林
    地址: 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
    优先权:
    专利代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 高静;吴敏
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510330401.8

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.02.08|||2017.01.11

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种靶材组件的加工方法,所述方法包括:提供溅射靶材组件,所述溅射靶材组件包括靶材背板,所述靶材的材料含铝;对所述靶材背板的表面进行车削工艺后,对所述车削工艺后的靶材背板的表面进行至少两次抛光工艺。通过该抛光工艺,封闭所述靶材背板表面毛孔,使所述靶材背板在自然条件下具备抗氧化作用,从而避免因靶材背板氧化引起的所述靶材背板导电率下降问题,进而避免在溅射过程中所述溅射靶材发生异常放电或断电现象,保证了溅射靶材的质量。

    权利要求书

    1.一种靶材组件的加工方法,其特征在于,包括:
    提供靶材组件,所述靶材组件包括靶材背板;
    对所述靶材背板的表面进行车削工艺;
    对车削后的靶材背板的表面进行至少两次抛光工艺。
    2.如权利要求1所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,所述靶材背板的
    材料含铝。
    3.如权利要求1所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,所述至少两次抛
    光工艺包括两次抛光,第一次抛光为粗抛光,第二次抛光为精抛光。
    4.如权利要求1所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,所述至少两次抛
    光工艺包括三次抛光,第一次抛光为粗抛光,第二次抛光为细抛光,第三次
    抛光为精抛光。
    5.如权利要求3或4所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,所述粗抛光
    工艺采用的粗抛光件为筛孔尺寸为200目至400目的背绒砂纸,靶材背板的
    转速为300转/分钟至600转/分钟,所述粗抛光件相对于靶材背板的线速度为
    3000毫米/分钟至5000毫米/分钟,工艺时间为3分钟至5分钟。
    6.如权利要求4所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,所述细抛光工艺
    采用的细抛光件为筛孔尺寸为400目至600目的背绒砂纸,靶材背板的转速
    为300转/分钟至600转/分钟,所述细抛光件相对于靶材背板的线速度为3000
    毫米/分钟至5000毫米/分钟,工艺时间为5分钟至10分钟。
    7.如权利要求3或4所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,所述精抛光
    工艺采用的精抛光件为筛孔尺寸为600目至1000目的背绒砂纸,靶材背板的
    转速为300转/分钟至600转/分钟,所述精抛光件相对于靶材背板的线速度为
    3000毫米/分钟至5000毫米/分钟,工艺时间为3分钟至5分钟。
    8.如权利要求1所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,所述车削工艺包
    括粗加工、半精加工和精加工。
    9.如权利要求1所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,还包括:所述抛
    光工艺后,对所述靶材背板进行清洗并烘干。
    10.如权利要求9所述的靶材组件的加工方法,其特征在于,所述烘干工艺的
    工艺温度为60℃至80℃,工艺时间为45分钟至60分钟。

    关 键 词:
    组件 加工 方法
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