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    广西11选5 计划表: 一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201610987500.8

    申请日:

    2016.11.09

    公开号:

    CN106312591A

    公开日:

    2017.01.11

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):B23Q 1/34申请日:20161109|||公开
    IPC分类号: B23Q1/34 主分类号: B23Q1/34
    申请人: 长春工业大学
    发明人: 卢明明; 林洁琼; 周家康; 谷岩; 于保军; 韩金国; 赵东坡; 李乾; 管亮
    地址: 130000 吉林省长春市延安大街2055号
    优先权:
    专利代理机构: 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 代理人: 魏征骥
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610987500.8

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2017.02.08|||2017.01.11

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台,属于微纳与超精密制造以及多轴运动平台精密控制领域。包括底座、右侧板、左侧板、上板和微调装置,X轴和Y轴压电叠堆固定在上板,Z轴压电叠堆与其他两个压电叠堆垂直,输入信号驱动三个压电叠堆产生高频振动,带动工件基座上的工件在三维空间产生椭圆运动轨迹,优点是结构新颖、刚度高、平稳性好,四个柔性铰链中心对称分布,易于控制微位移运动平台的运动精度,易于控制微位移运动平台在三维空间中的椭圆轨迹。

    权利要求书

    1.一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台,其特征在于:右侧板,左侧板分别
    与底座固定连接,上板通过侧板联接孔与右侧板,左侧板顶部固定连接,所述上板上有四个
    中心对称分布的柔性铰链,工件基座四周与四个柔性铰链连接,X轴压电叠堆后端与上板X
    轴压电叠堆固定孔连接、前端与柔性铰链相接触,X轴微位移传感器与上板X轴微位移传感
    器固定孔连接、且位于X轴压电叠堆对侧,Y轴压电叠堆后端与上Y轴压电叠堆固定孔板连
    接、前端与柔性铰链相接触,Y轴微位移传感器与上板Y轴微位移传感器固定孔连接、且位于
    Y轴压电叠堆对侧,Z轴压电叠堆顶端与工件基座底部接触、底部通过微调装置与底座连接。
    2.根据权利要求1所述的一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台,其特征在
    于:所述微调装置由四个对称分布的L型块、锲形块和微调螺母组成,锲形块与Z轴压电叠堆
    底部斜面连接,微调螺母与L型块螺纹连接、且前端与锲形块顶接。
    3.根据权利要求1所述的一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台,其特征在
    于:所述X轴压电叠堆、Y轴压电叠堆和Z轴压电叠堆的驱动信号如下:

    经过运动与工件基座参数的空间坐标转换,工件的运动坐标生成公式如下:
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    其中,xct,yct,zct是工件基座的笛卡尔坐标;A1,A2,A3分别是三个压电叠堆的振动幅值;
    分别是三个压电叠堆的初始相位,使得各个初始相位之间的相位差不为0;ω是振
    动频率;t为时间变量;h是工件中心距XY轴压电叠堆平面的垂直距离;l1,l2分别是工件基座
    的两个对角线长度。

    关 键 词:
    一种 压电 垂直 驱动 三维 椭圆 位移 运动 平台
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