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    广西11选5选号软件下载: 研磨装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201610481878.0

    申请日:

    2016.06.27

    公开号:

    CN106312795A

    公开日:

    2017.01.11

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/04申请日:20160627|||公开
    IPC分类号: B24B37/04(2012.01)I; B24B37/34(2012.01)I; B24B57/02; B24B55/00 主分类号: B24B37/04
    申请人: 不二越机械工业株式会社; 国立大学法人九州大学
    发明人: 宫下忠一; 市川大造; 濑下清; 大坪正德
    地址: 日本长野县
    优先权: 2015.07.01 JP 2015-132726
    专利代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;黄纶伟
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201610481878.0

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2018.06.15|||2017.01.11

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种研磨装置,其能够防止浆液的雾的飞散。研磨装置(10)具备:保持工件(20)的研磨头(18);在表面上粘贴有研磨垫(16)的定盘(12);将研磨用的浆液供给到研磨垫上的浆液供给部(24);浆液接收件(26),其沿着定盘的外周设置,接收从研磨垫流下的浆液;以及运动机构,其使研磨头(18)和定盘相对运动,特征在于,研磨装置具备成环状的浆液飞散防止用罩(34),该浆液飞散防止用罩在与研磨垫的外周部上表面之间隔开间隙而覆盖研磨垫的外周部上表面,并且覆盖浆液接收件的上侧开口部,其中,所述间隙是能够使从浆液供给部供给到研磨垫上的浆液在研磨垫上向外侧流动的间隙。

    权利要求书

    1.一种研磨装置,其具备:
    保持工件的研磨头;
    在表面上粘贴有研磨垫的定盘;
    将研磨用的浆液供给到所述研磨垫上的浆液供给部;
    浆液接收件,其沿着所述定盘的外周设置,接收从所述研磨垫流下的浆液;以及
    运动机构,其使所述研磨头和所述定盘相对运动,其特征在于,
    所述研磨装置具备成环状的浆液飞散防止用罩,所述浆液飞散防止用罩在与所述研磨
    垫的外周部上表面之间隔开间隙而覆盖所述研磨垫的外周部上表面,并且覆盖所述浆液接
    收件的上侧开口部,其中,所述间隙是能够使从所述浆液供给部供给到所述研磨垫上的浆
    液在该研磨垫上向外侧流动的间隙。
    2.根据权利要求1所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩被设置为,与所述研磨垫对置的对置面平行于所述研磨垫的上
    表面。
    3.根据权利要求1所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩被设置为,与所述研磨垫对置的对置面的至少一部分以相对于
    所述研磨垫的上表面朝向浆液接收件侧变低的方式倾斜1°~5°。
    4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    在所述浆液接收件内产生的浆液的雾附着于所述罩的下表面,不流出到所述罩外。
    5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩以能够拆卸的方式支承于所述浆液接收件。
    6.根据权利要求5所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩具有卡定部,所述卡定部卡定于所述浆液接收件的侧壁部。
    7.根据权利要求1~6中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩被设置成其相对于所述研磨垫的上表面的高度可调。
    8.根据权利要求1~7中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩被设置成其相对于所述研磨垫上表面的高度成为5mm以下的高
    度。
    9.根据权利要求1~8中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩从所述研磨垫的外周侧起覆盖所述研磨垫的半径的1/3以上的
    范围。
    10.根据权利要求1~9中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    所述研磨垫的外周侧突出到所述浆液接收件内。
    11.根据权利要求1~10中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    在所述浆液飞散防止用罩之外还设置有覆盖所述研磨头和所述定盘的罩。
    12.根据权利要求1~11中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    工件研磨时的所述定盘的转速在100rpm以上。
    13.根据权利要求1~12中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    待研磨的工件是SiC、GaN、蓝宝石或金刚石。
    14.根据权利要求1~13中的任意一项所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩的至少一部分由具有透光性的树脂材料形成。
    15.根据权利要求14所述的研磨装置,其特征在于,
    所述浆液飞散防止用罩由具有疏水性的材料或者实施了基于表面处理剂的疏水涂敷
    的材料形成。

    关 键 词:
    研磨 装置
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