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    查广西11选5开奖公告: 弹性罐及使用该弹性罐的化学液体供应装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN200510066338.8

    申请日:

    2005.04.22

    公开号:

    CN1691282A

    公开日:

    2005.11.02

    当前法律状态:

    终止

    有效性:

    无权

    法律详情: 未缴年费专利权终止IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20050422授权公告日:20090204终止日期:20160422|||授权|||实质审查的生效|||公开
    IPC分类号: H01L21/027; G03F7/16; F04B43/00; F04B23/00 主分类号: H01L21/027; G03F7/16; F04B43/00; F04B23/00
    申请人: 株式会社小金井;
    发明人: 矢岛丈夫
    地址: 日本东京都
    优先权: 2004.04.26 JP 2004-130160
    专利代理机构: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人: 寿宁;张华辉
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN200510066338.8

    授权公告号:

    |||100459038||||||

    法律状态公告日:

    2017.06.09|||2009.02.04|||2005.12.28|||2005.11.02

    法律状态类型:

    专利权的终止|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种具有变容腔的弹性罐,被一个弹性管分隔,该弹性管根据盛装的化学液体的量膨胀和收缩,并在上述弹性管上附有适配部。通向上述变容腔的主侧端口通向其中的一个适配部,通向上述副侧开孔的变容腔通向另一个适配部。在上述变容腔中的化学液体和空气之间的接触压缩到最小程度,这样盛装上述的化学液体而不会使该化学液体的清洁度变差,并改善了上述化学液体的排放精确度。

    权利要求书

    1: 一种弹性罐,其特征在于其包括: 一个变容腔,被一个弹性膜分隔,该弹性膜根据盛装的化学液体的量 行膨胀和收缩,并有一个该弹性膜附于其上的适配部;和 一个主侧开孔和一个副侧开孔,形成于上述适配部中,以便通向上述 变容腔。
    2: 根据权利要求1所述的弹性罐,其特征在于,其中 弹性膜的膨胀或收缩变形可以由一个传感器检测到,以便确定在上述 变容腔中盛装有预定量的化学液体。
    3: 根据权利要求1所述的弹性罐,其特征在于,其中 形成一提供有一压力开孔并容纳有上述变容腔的压缩腔,从而被固定 在上述适配部的密封部和上述适配部分隔,并从压力开孔向上述压缩腔施 加预定的流体压力。
    4: 根据权利要求1所述的弹性罐,其特征在于,其中 一端通向上述主侧开孔而另一端通向上述副侧开孔的弹性管被用作上 述的弹性膜。
    5: 根据权利要求1所述的弹性罐,其特征在于其中通向上述变容腔的 气体排放开孔形成于上述的适配部中,而一端通向上述的气体排放开孔、另 一端通向上述的主侧开孔和副侧开孔的弹性管被用作弹性膜。
    6: 根据权利要求1所述的弹性罐,其特征在于其中 附在适配器部上将主侧开孔和副侧开孔覆盖的膜片或波纹管被用作上 述弹性膜。
    7: 一种化学液体供应装置,具有一个盛装化学液体的化学液体瓶,和 一个吸入盛装在上述化学液体瓶中的化学液体并将该化学液体提供给一个 应用喷嘴的泵;该化学液体供应装置包括: 一个缓冲罐腔体,随着通过压缩传输对上述化学液体瓶的化学液体供 应量而膨胀,并且随着上述泵对化学液体吸入量而收缩;和 一个压力腔,容纳上述缓冲罐腔体,并通过一个空气通口将内部和外 部连通;其中 当在上述空气通口关闭的状态下,上述缓冲罐腔体的容积保持恒定,而 在上述空气通口打开的状态下,上述的缓冲罐腔体根据盛装的化学液体的 量进行膨胀或收缩。
    8: 一种化学液体供应装置,具有一个盛装化学液体的化学液体瓶、一 个用于吸入盛装在上述化学液体瓶中的化学液体的主侧泵、一个用于过滤 由上述主侧泵吸入的化学液体的过滤器、和一个用于将经过上述过滤器过 滤后的化学液体提供供给一个应用喷嘴的副侧泵;上述化学液体供应装置 包括: 一个适配部,其中形成有一个连接到上述主侧泵的主侧开孔和一个连 接到上述副侧泵的副侧开孔;和 一个弹性罐,附在上述的适配部,包括一个弹性管,该弹性管随着由 上述主侧端口的化学液体流入量的增加而膨胀,并随着由上述副侧端口的 化学液体流出量而收缩。
    9: 根据权利要求8所示化学液体供应装置,其特征在于,其中 在上述适配部形成有一个气体排放开孔,上述弹性管被附在上述的适 配部,使上述弹性管的一端部通向上述的气体排放开孔,而另一端通向上 述主侧开孔和副侧开孔,且上述弹性罐放置的位置高于上述化学液体瓶、上 述主侧泵、过滤器和上述副侧泵,使上述气体排放开孔被向上放置。
    10: 根据权利要求9所述的化学液体供应装置,其特征在于其进一步 包括: 一个缓冲罐腔体,随着通过压缩传输对上述化学液体瓶的化学液体供 应量而膨胀,并且随着上述主侧泵对化学液体吸入量而收缩;和 一个压力腔,容纳上述缓冲罐腔体,并通过一个空气通口将内部和外 部连通;其中 当在上述空气通口关闭的状态下,上述缓冲罐腔体的容积保持恒定,而 在上述空气通口打开的状态下,上述的缓冲罐腔体根据盛装的化学液体的 量进行膨胀或收缩。

    关 键 词:
    弹性 使用 化学 液体 供应 装置
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