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    广西11选5中奖助手: 抗蚀剂剥离剂组合物.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510829099.0

    申请日:

    2015.11.25

    公开号:

    CN105824201A

    公开日:

    2016.08.03

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20151125|||公开
    IPC分类号: G03F7/42 主分类号: G03F7/42
    申请人: 东友精细化工有限公司
    发明人: 金正铉; 金圣植; 李喻珍
    地址: 韩国全罗北道
    优先权: 2015.01.22 KR 10-2015-0010446; 2015.08.05 KR 10-2015-0110595
    专利代理机构: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 徐川;姚开丽
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510829099.0

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.08.31|||2016.08.03

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种抗蚀剂剥离剂组合物,该抗蚀剂剥离剂组合物能使剥离过程中金属线的腐蚀最小化,显示出优异的抗蚀剂去除性能,并且提高了能处理的基板数。

    权利要求书

    1.一种抗蚀剂剥离剂组合物,包含:
    (A)N-乙基甲酰胺;和
    (B)由下面化学式1表示的胺化合物:

    在化学式1中,R1和R2各自独立地为C1~C5烷基、C1~C5羟烷基或C1~C5
    氨烷基,并且
    R1和R2能连接以形成进一步含有N或O的环。
    2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物,还包含(C)腐蚀抑制剂。
    3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物,基于所述抗蚀剂剥离剂组
    合物的总重量,包含:10~99.9wt%的N-乙基甲酰胺(A);和0.1~10wt%的由
    化学式1表示的胺化合物(B)。
    4.根据权利要求2所述的抗蚀剂剥离剂组合物,其中,所述腐蚀抑制剂(C)
    包括由下面化学式2表示的叔胺腐蚀抑制剂:

    在化学式2中,R3~R5各自独立地为羟基、C1~C5烷基或C1~C5羟烷基。
    5.根据权利要求2所述的抗蚀剂剥离剂组合物,其中,基于所述抗蚀剂剥
    离剂组合物的总重量,所述腐蚀抑制剂的使用量为5wt%或更少,但超过0wt%。
    6.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物,还包含选自极性溶剂和去
    离子水中的至少一种。
    7.根据权利要求4所述的抗蚀剂剥离剂组合物,其中,除由化学式2表示
    的所述叔胺腐蚀抑制剂之外,所述腐蚀抑制剂(C)还包括另外的腐蚀抑制剂。
    8.根据权利要求6所述的抗蚀剂剥离剂组合物,其中,基于所述抗蚀剂剥
    离剂组合物的总重量,所述极性溶剂的使用量为5~85wt%。
    9.根据权利要求6所述的抗蚀剂剥离剂组合物,其中,基于所述抗蚀剂剥
    离剂组合物的总重量,所述去离子水的使用量为50wt%或更少,但超过0wt%。
    10.根据权利要求7所述的抗蚀剂剥离剂组合物,其中,所述另外的腐蚀
    抑制剂包括选自有机酸、有机酸酰胺酯、唑化合物和对称的酚化合物中的至少
    一种。
    11.根据权利要求6所述的抗蚀剂剥离剂组合物,其中,所述极性溶剂包
    括选自亚烷基二醇单烷基醚、亚烷基二醇二烷基醚、醇、亚烷基二醇烷基醚乙
    酸酯、吡咯烷酮化合物、咪唑啉酮化合物、内酯化合物、亚砜化合物、磷酸酯
    化合物、碳酸酯化合物和酰胺化合物中的至少一种。

    关 键 词:
    抗蚀剂 剥离 组合
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