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    体彩广西11选5香港津: 一种光罩派工方法及系统.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510005957.X

    申请日:

    2015.01.06

    公开号:

    CN105824293A

    公开日:

    2016.08.03

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G05B 19/418申请日:20150106|||公开
    IPC分类号: G05B19/418 主分类号: G05B19/418
    申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
    发明人: 李红; 张昊; 肖柯
    地址: 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号
    优先权:
    专利代理机构: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510005957.X

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.08.31|||2016.08.03

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种光罩派工方法及系统,通过根据综合考虑lot的优先级级别和优先级级别下的lot数量,计算出光罩的权重,然后根据光罩的权重系数来选择派货顺序,确保在优先考虑lot的优先级的基础上减少曝光机台上光罩的切换次数,节约了机台切换光罩所花的时间,提高了机台的利用率和机台产出,同时节省了技术人员找寻、切换及运送光罩的时间,减少操作人员的日常工作的等待时间,进而减少机台切换光罩的频率,从而达到机台单位产量最大化,并减少lot产品生产的周期时间,提高生产效率及经济效益。

    权利要求书

    1.一种光罩派工方法,应用于进行光刻工艺的一机台上,其特
    征在于,所述方法包括:
    步骤S1:获取所述机台上等待派货的产品批次的优先级级别,
    以及每个所述产品批次进行所述光刻工艺所需光罩的信息;
    步骤S2:统计各所述光罩下每个所述优先级级别中所述产品批
    次的数量;
    步骤S3:根据各所述光罩下的每个所述产品批次的优先级级别
    和每个所述优先级级别中所述产品批次的数量来计算各所述光罩的
    权重系数;
    步骤S4:根据所述权重系数来对各所述光罩进行派货。
    2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,设其中一光罩下产
    品批次的优先级级别为1,2,3…N,且每个优先级级别下的产品批
    次数量为C1,C2,C3…CN,计算该光罩权重系数的公式为:
    M=(1*C1+2*C2+3*C3…N*CN)/(C1+C2+C3+…+CN);
    其中,M为所述光罩的权重系数,N为大于0的自然数。
    3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述光罩权重系数
    越小,越优先对该光罩下所有的产品批次进行派货。
    4.如权利要求2所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
    当所述光罩的权重系数相同时,则根据各所述光罩下的产品批次
    的优先级级别进行派货;
    当所述光罩的权重系数其产品批次的优先级级别均相同时,则根
    据所述光罩下的产品批次等待的时间进行派货;
    其中,所述光罩下的产品批次的优先级级别数值越小,越优先对
    包含该产品批次的光罩进行派货;所述产品批次等待的时间越长,越
    优先对包含该产品批次的光罩进行派货。
    5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,当对所述其中一光
    罩下所有的产品批次进行派货时,所述产品批次的优先级级别数值越
    小,则优先对该产品批次进行派货;
    当所述产品批次的优先级级别相同时,根据所述产品批次等待的
    时间进行派货,若所述产品批次等待的时间越长,优先对该产品批次
    进行派货。
    6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述产品批次的优
    先级级别根据该产品批次的重要程度而设定,且所述产品批次的重要
    程度越高,该产品批次的优先级级别数值越小。
    7.一种光罩派工系统,应用于进行光刻工艺的一机台上,其特
    征在于,包括:
    存储???,所述存储??榇⒋嬗懈鞴庹值男畔⒓拔挥诟霉庹窒碌?br />所有产品批次信息;
    计算???,所述计算??楦菟霾放涡畔⒓扑愠龈魉龉?br />罩的权重系数;
    派货???,所述派货??楦莞魉龉庹值娜ㄖ叵凳炊运龉?br />罩进行派货,以及对各所述光罩下的所有产品批次进行派货。
    8.如权利要求7所述的系统,其特征在于,所述产品批次信息
    包括各产品批次的优先级级别和位于各产品批次的优先级级别下的
    产品批次数量。
    9.如权利要求8所述的系统,其特征在于,所述存储??榘?br />一信息输入单元,通过该信息输入单元将产品批次产品信息和光罩信
    息输入至所述存储???。
    10.如权利要求8所述的系统,其特征在于,设其中一光罩下各
    产品批次的优先级级别为1,2,3…N,且各优先级级别下的产品批
    次数量为C1,C2,C3…CN,利用所述计算??榧扑愀霉庹秩ㄖ叵凳?br />公式为:
    M=(1*C1+2*C2+3*C3…N*CN)/(C1+C2+C3+…+CN);
    其中,M为所述光罩的权重系数,N为大于0的自然数。
    11.如权利要求10所述的系统,其特征在于,所述计算??榘?br />括读取单元和处理单元;
    所述读取单元用于读取所述存储??榇⒋娴氖?,并将所述数据
    传送至所述处理单元;所述处理单元用于将接收的数据进行计算得出
    各所述光罩的权重系数。
    12.如权利要求10所述的系统,其特征在于,所述派货??榘?br />括有一执行单元和派货单元;
    所述执行单元根据所述权重系数选择光罩派货顺序,且该执行单
    元设置有各所述光罩下的所有产品批次的派货规则,并通过所述派货
    单元对所述光罩进行派货,以及对各所述光罩下的所有产品批次进行
    派货。
    13.如权利要求12所述的系统,其特征在于,所述光罩权重系
    数越小,则优先对该光罩下所有的产品批次进行派货。
    14.如权利要求12所述的系统,其特征在于,当所述光罩的权
    重系数相同时,则根据各所述光罩下的产品批次的优先级级别进行派
    货;
    当所述光罩的权重系数其产品批次的优先级级别均相同时,则根
    据所述光罩下的产品批次等待的时间进行派货;
    其中,所述光罩下的产品批次的优先级级别数值越小,越优先对
    包含该产品批次的光罩进行派货;所述产品批次等待的时间越长,越
    优先对包含该产品批次的光罩进行派货。
    15.如权利要求12所述的系统,其特征在于,当对其中一所述
    光罩下所有的产品批次进行派货时,所述产品批次的优先级级别数值
    越小,优先对该产品批次进行派货;
    当所述产品批次的优先级级别相同时,根据所述产品批次等待的
    时间进行派货,若所述产品批次等待的时间越长,优先对该产品批次
    进行派货。
    16.如权利要求7所述的系统,其特征在于,所述产品批次的优
    先级级别根据该产品批次的重要程度而设定,且所述产品批次的重要
    程度越高,该产品批次的优先级级别数值越小。

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    一种 光罩派工 方法 系统
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