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    查广西11选5开奖公告: 双层套刻精度控制层次管理的方法、校准标记及测量系统.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510369337.4

    申请日:

    2015.06.29

    公开号:

    CN104898383A

    公开日:

    2015.09.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150629|||公开
    IPC分类号: G03F7/20; G03F9/00; H01L21/66 主分类号: G03F7/20
    申请人: 上?;ξ⒌缱佑邢薰?
    发明人: 朱祎明; 陈力钧; 吴鹏; 朱骏
    地址: 201210上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
    优先权:
    专利代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 代理人: 吴世华; 陈慧弘
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510369337.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.07.06|||2015.10.07|||2015.09.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种解决需双层套刻精度控制层次管理的方法、实现该方法的校准标记结构及包括该校准标记结构的测量系统,该方法通过修改套刻校准标记的布局,使一个组合校准标记中包含两层套刻信息,已实现通过一次量测完成当前层次对前两层的套刻精度数据收集,并可进行两层套刻精度不同控制精度的区别对待,从而可完成套刻精度补偿自动反馈优化,简单易行且能更好的帮助企业进行生产质量把关及成本控制。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种双层套刻精度控制层次管理的方法,用于对具有三层校准标记的套刻精度进行计算和控制,其特征在于,包括校准标记结构制作步骤S1和套刻精度误差测量步骤S2;
    所述步骤S1具体如下步骤:
    步骤S11:在进行第一层工艺过程中制作第一层校准标记单元;即在第一制作层的不同位置制作两组第一校准标记(A1),第一组所述第一校准标记(A1)包括四条围成一圈但没有交点的X和Y方向的直线,第二组所述第一校准标记(A1)包括两条相邻但没有交点的X和Y方向的直线;
    步骤S12:在进行第二层工艺过程中制作第二层校准标记单元;即在第二制作层的不同位置制作两组第一校准标记(A1)和第二校准标记(A2);其中,第一校准标记(A1)制作同步骤S11,即第一组所述第一校准标记(A1)包括四条围成一圈但没有交点的X和Y方向的直线,第二组第一校准标记(A1)包括两条相邻但没有交点的X和Y方向的直线;第一组所述第二校准标记(A2)包括四条围成一圈但没有交点的X和Y方向的直线,第二组所述第二校准标记(A2)包括两条相邻但没有交点的X和Y方向的直线;第一组所述第二校准标记(A2)位于第一组所述第一校准标记(A1)内,第二组所述第二校准标记(A2)与第一组所述第二校准标记(A1)相对位置设置,围成一圈形成组合校准标记;
    步骤S13:在进行第三层工艺过程中制作第三层校准标记单元;即在第三制作层的不同位置制作两组第一校准标记(A1)、第二校准标记(A2)和第三校准标记(A3);其中,第一校准标记(A1)和第二校准标记(A2)的制作同步骤S11和S12;所述第三校准标记(A3)包括四条围成一圈但没有交点的X和Y方向的直线,且设置于第二组所述第二校准标记(A2)与第一组所述第二校准标记(A1)围成的组合校准标记内;
    所述步骤S2具体如下步骤:
    步骤S21:在第二层制作工艺完成后,分别测量第一组所述第二校准标记(A2)与第一组所述第一校准标记(A1)在X和Y方向的间距,并根据得到的所述间距,计算获得第二层对第一层间的中心偏差值;
    步骤S22:在第三层制作工艺完成后,分别测量第一组所述第二校准标记(A2)与第一组所述第一校准标记(A1)在X和Y方向的间距,并根据得到的所述间距,计算并获得第二层对第一层间的中心偏差值,以及分别测量所述第三校准标记(A3)与所述的组合校准标记在X和Y方向的间距,并根据得到的所述间距,计算并获得第二层对第一层、第三层对第一层以及第三层对第二层间的中心偏差值。

    2.  根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在执行所述步骤S2后还包括:
    步骤S3:在进行双层套刻精度控制时,按两组第一校准标记(A1)、第二校准标记(A2)和第三校准标记(A3)实际摆放情况及规格需求进行分别目标值偏离设定和卡控。

    3.  根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述步骤S3中的分别目标值偏离设定和卡控具体步骤为:增加后台运算,修正所述组合校准标记的自身误差。

    4.  根据权利要求1、2或3所述的方法,其特征在于,所述的组合校准标记中的第一校准标记(A1)位于左上方,第二校准标记(A2)位于右下方。

    5.  根据权利要求1、2或3所述的方法,其特征在于,所述的组合校准标记中的第一校准标记(A1)位于左下方,第二校准标记(A2)位于右上方。

    6.  根据权利要求1、2或3所述的方法,其特征在于,所述的组合校准标记中的第一校准标记(A1)位于右下方,第二校准标记(A2)位于左上方。

    7.  根据权利要求1、2或3所述的方法,其特征在于,所述的组合校准标记中的第一校准标记(A1)位于右上方,第二校准标记(A2)位于左下方。

    8.  一种实现权利要求1至7所述方法的校准标记结构,用于对具有三层校准标记的套刻精度进行计算和控制,其特征在于,包括:
    第一层校准标记单元,其在进行第一层工艺过程中制作完成;即在第一制作层的不同位置制作两组第一校准标记(A1),第一组所述第一校准标 记(A1)包括四条围成一圈但没有交点的X和Y方向的直线,第二组所述第一校准标记(A1)包括两条相邻但没有交点的X和Y方向的直线;
    第二层校准标记单元,其在进行第二层工艺过程中制作完成;即在第二制作层的不同位置制作两组第一校准标记(A1)和第二校准标记(A2);其中,第一校准标记(A1)制作同步骤S11,即第一组所述第一校准标记(A1)包括四条围成一圈但没有交点的X和Y方向的直线,第二组第一校准标记(A1)包括两条相邻但没有交点的X和Y方向的直线;第一组所述第二校准标记(A2)包括四条围成一圈但没有交点的X和Y方向的直线,第二组所述第二校准标记(A2)包括两条相邻但没有交点的X和Y方向的直线;第一组所述第二校准标记(A2)位于第一组所述第一校准标记(A1)内,第二组所述第二校准标记(A2)与第一组所述第二校准标记(A1)相对位置设置,围成一圈形成组合校准标记;
    第三层校准标记单元,其在进行第三层工艺过程中制作完成;即在第三制作层的不同位置制作两组第一校准标记(A1)、第二校准标记(A2)和第三校准标记(A3);其中,第一校准标记(A1)和第二校准标记(A2)的制作同步骤S11和S12;所述第三校准标记(A3)包括四条围成一圈但没有交点的X和Y方向的直线,且设置于第二组所述第二校准标记(A2)与第一组所述第二校准标记(A1)围成的组合校准标记内。

    9.  根据权利要求8所述的校准标记结构,其特征在于,所述的组合校准标记中的第一校准标记(A1)位于左上方,第二校准标记(A2)位于右下方。

    10.  根据权利要求8所述的校准标记结构,其特征在于,所述的组合校准标记中的第一校准标记(A1)位于左下方,第二校准标记(A2)位于右上方。

    11.  根据权利要求8所述的校准标记结构,其特征在于,所述的组合校准标记中的第一校准标记(A1)位于右下方,第二校准标记(A2)位于左上方。

    12.  根据权利要求8所述的校准标记结构,其特征在于,所述的组合校准标记中的第一校准标记(A1)位于右上方,第二校准标记(A2)位于左下方。

    13.  一种包括权利要求8至12所述校准标记结构的测量系统,其特征在于,还包括控制单元,所述控制单元按两组第一校准标记(A1)、第二校准标记(A2)和第三校准标记(A3)实际摆放情况及规格需求进行分别目标值偏离设定和卡控,所述的卡控为增加后台运算,修正所述组合校准标记的自身误差。

    关 键 词:
    双层 精度 控制 层次 管理 方法 校准 标记 测量 系统
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