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    广西11选5最大遗漏值: 一种光刻胶吹涂装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510319642.2

    申请日:

    2015.06.12

    公开号:

    CN104898375A

    公开日:

    2015.09.09

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/18申请日:20150612|||公开
    IPC分类号: G03F7/18 主分类号: G03F7/18
    申请人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
    发明人: 蒋柏斌; 袁光辉; 杨洪; 魏胜; 谢军; 杜凯; 任伟
    地址: 621999四川省绵阳市919信箱987分箱
    优先权:
    专利代理机构: 中国工程物理研究院专利中心51210 代理人: 翟长明; 韩志英
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510319642.2

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2015.10.07|||2015.09.09

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种光刻胶吹涂装置。所述装置包括两套二维直线驱动机组、水平方向直线运动轴、垂直方向直线运动轴,还包括旋转电机、挤胶机构、滴胶器、偏转电机、压缩空气喷嘴、空压机组、溶胶池。其中一套二维直线驱动机组驱动水平和垂直方向的运动轴,使滴胶器位于工件上方,旋转电机驱动挤胶机构向工件表面滴胶,另一套二维直线驱动机组采用相同方法驱动压缩空气喷嘴至工件上方,开启空压机组向胶层表面吹送压缩空气,通过偏转电机转动压缩空气喷嘴调整气流方向,通过减压阀调节出口压力。本发明的装置适用于向工件表面滴光刻胶,以及通过吹送压缩空气进行胶层厚度控制。本发明能够实现平面、复杂曲面的光刻胶涂覆,功能强、应用范围广。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种光刻胶吹涂装置,其特征在于,所述的装置含有滴胶平台二维直线驱动机组(1)、滴胶平台水平方向直线运动轴(2)、滴胶平台垂直方向直线运动轴(3)、旋转电机(4)、挤胶机构、滴胶器(6)、吹气平台二维直线驱动机组(7)、吹气平台水平方向直线运动轴(8)、吹气平台垂直方向直线运动轴(9)、气管(10)、减压阀(11)、压缩空气喷嘴(12)、偏转电机(13)、空压机组(14)、容胶池(15)、底座(16),其中,挤胶机构包括拉杆(5)、应变片(17);其连接关系是,所述的底座(16)外形为凹状,底座(16)两方凸出的部分对称设置;底座(16)凸出的一方依次设置有与底座(16)底面平行的滴胶平台水平方向直线运动轴(2)、滴胶平台垂直方向直线运动轴(3),所述的滴胶平台水平方向直线运动轴(2)、滴胶平台垂直方向直线运动轴(3)外侧与滴胶平台二维直线驱动机组(1)连接,滴胶平台水平方向直线运动轴(2)的中心轴设置有拉杆(5),拉杆(5)的顶端连接有应变片(17),滴胶器(6)嵌入在滴胶平台水平方向直线运动轴(2)的内侧端头;在滴胶平台水平方向直线运动轴(2)上设置有用于驱动拉杆(5)的旋转电机(4);底座(16)凸出的另一方依次设置有与底座(16)底面平行的吹气平台水平方向直线运动轴(8)、吹气平台垂直方向直线运动轴(9),吹气平台水平方向直线运动轴(8)、吹气平台垂直方向直线运动轴(9)的外侧与吹气平台二维直线驱动机组(7)连接,吹气平台水平方向直线运动轴(8)的内侧端头设有压缩空气喷嘴(12),压缩空气喷嘴(12)的上方与偏转电机(13)固定连接,下方设置有减压阀(11);所述的吹气平台水平方向直线运动轴(8)与滴胶平台水平方向直线运动轴(2)对应设置,端头相对;所述的空压机组(14)设置在底座(16)内,空压机组(14)通过气管(10)与压缩空气喷嘴(12)连接;在底座(16)的凹处设置有容胶池(15),容胶池(15)为“W”型结构,容胶池(15)中心设置有用于安装工件(18)的凸起部分,容胶池(15)内四周设置有用于收集散落光刻胶的凹陷处。

    2.  据权利要求1所述的光刻胶吹涂装置,其特征在于,所述的滴胶平台水平方向直线运动轴(2)、吹气平台水平方向直线运动轴(8)、拉杆(5)为同轴心设置。

    关 键 词:
    一种 光刻 胶吹涂 装置
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