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    广西11选5冷号: 一种显影装置及显影方法、曝光装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510358739.4

    申请日:

    2015.06.25

    公开号:

    CN104898381A

    公开日:

    2015.09.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150625|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 上海天马有机发光显示技术有限公司; 天马微电子股份有限公司
    发明人: 姚宇环
    地址: 201201上海市浦东新区汇庆路889号
    优先权:
    专利代理机构: 代理人:
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510358739.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.04.26|||2015.10.07|||2015.09.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种显影装置,包括箱体和显影液,所述显影液盛放在所述箱体内,其特征在于,所述箱体包括内壁,所述内壁上设置有缓冲膜,所述缓冲膜能够调节所述显影液的浓度。该缓冲膜解决显影系统中光刻胶浓度不稳定对显影液显影能力的影响;并且能够减少显影液的使用量,节约成本。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种显影装置,包括箱体和显影液,所述显影液盛放在所述箱体内,其特征在于,所述箱体包括内壁,所述内壁上设置有缓冲膜,所述显影液包括光刻胶,所述缓冲膜能够调节所述显影液中光刻胶的浓度。

    2.  根据权利要求1所述的显影装置,其特征在于,所述缓冲膜是复合材料,至少包括氧化石墨烯与壳聚糖。

    3.  根据权利要求2所述的显影装置,其特征在于,所述缓冲膜通过粘结胶贴附在所述内壁上。

    4.  根据权利要求1所述的显影装置,其特征在于,所述光刻胶在所述显影液中的浓度为0.05%g/L-0.15%g/L;所述缓冲膜中光刻胶的浓度为0.1%g/L。

    5.  根据权利要求1所述的显影装置,其特征在于,所述内壁包括四个表面,其中,至少一个所述表面设置有所述缓冲膜。

    6.  一种显影方法,应用于权利要求1所述的显影装置,其特征在于,将所述缓冲膜浸泡在光刻胶浓度为0.1%g/L的第一显影液中,将浸泡后的所述缓冲膜贴附在所述内壁上;
    在贴附有所述缓冲膜的所述箱体内加入一定量的所述显影液;
    将待显影样品放入所述箱体内的所述显影液中进行显影。

    7.  据权利要求6所述的显影方法,其特征在于,将所述缓冲膜贴附在所述内壁上之前,还包括,在浸泡后的所述缓冲膜上涂附粘结胶,所述缓冲膜通过所述粘结胶贴附在所述内壁上。

    8.  据权利要求6所述的显影方法,其特征在于,将所述缓冲膜贴附在所述内壁上之前,还包括,在所述内壁上涂附粘结胶,所述缓冲膜通过所述粘结胶贴附在所述内壁上。

    9.  根据权利要求6所述的显影方法,其特征在于,所述缓冲膜在所述第一显影液中浸泡的时间大于或等于8小时。

    10.  根据权利要求6所述的显影方法,其特征在于,所述缓冲膜是复合材料,至少包括氧化石墨烯与壳聚糖。

    11.  根据权利要求6所述的显影方法,其特征在于,所述光刻胶在所述显 影液中的浓度为0.05%g/L-0.15%g/L;所述缓冲膜中光刻胶的浓度为0.1%g/L。

    12.  一种曝光装置,包括如权利要求1所述的显影装置。

    关 键 词:
    一种 显影 装置 方法 曝光
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