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    广西11选5经验: 一种钒硅合金靶材及其制备方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510315291.8

    申请日:

    2015.06.10

    公开号:

    CN104894448A

    公开日:

    2015.09.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||著录事项变更IPC(主分类):C22C 27/02变更事项:申请人变更前:深圳市威勒达科技开发有限公司变更后:深圳市威勒科技股份有限公司变更事项:地址变更前:518000 广东省深圳市福田区新洲南路金享楼2栋6楼南半层变更后:518000 广东省深圳市福田区深南大道1006号深圳国际创新中心C座15楼|||实质审查的生效IPC(主分类):C22C 27/02申请日:20150610|||公开
    IPC分类号: C22C27/02; C22C1/05; B22F3/115 主分类号: C22C27/02
    申请人: 深圳市威勒达科技开发有限公司
    发明人: 徐玄; 顾进跃; 顾伟华; 李巧梅; 马辉
    地址: 518000广东省深圳市福田区新洲南路金享楼2栋6楼南半层
    优先权:
    专利代理机构: 代理人:
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510315291.8

    授权公告号:

    |||||||||

    法律状态公告日:

    2018.07.06|||2017.08.25|||2017.06.23|||2015.09.09

    法律状态类型:

    授权|||著录事项变更|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种钒硅合金靶材及其制备方法,该靶材由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1~3:2,所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5%。该制备方法包括以下步骤:按比例称取钒粉与硅粉,并将两者充分混匀;将混匀的钒粉和硅粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒硅粉与粘结剂的复合粉末材料;将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒硅合金靶材均匀性好,稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行,无需模具设计和昂贵的压制设备,操作方便,制备所得的靶材溅射性能优良,杂质少,适用于光学镀膜。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种钒硅合金靶材,其特征在于,由钒粉、硅粉及粘结剂制作组成,其中钒粉与硅粉的质量配比为19:1~3:2,所述钒粉与硅粉的纯度大于99.5%。

    2.  根据权利要求1所述的钒硅合金靶材,其特征在于,所述粘结剂的溶质为醇酸清漆,溶剂为200#汽油。

    3.  根据权利要求1所述的钒硅合金靶材,其特征在于,所述钒粉粒度为5~300um,所述硅粉粒度为5~150um。

    4.  一种如权利要求1~3所述的钒硅合金靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
    (1)按比例称取钒粉与硅粉,并将两者充分混匀;
    (2)将混匀的钒粉和硅粉加入粘结剂进一步混匀,并处理得到干燥的钒硅粉与粘结剂的复合粉末材料;
    (3)将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作;
    (4)取下喷涂所得的构件,并对所述构件进行处理得到成品。

    5.  根据权利要求4所述的钒硅合金靶材的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)的混匀方式为:用滚筒混料机混匀,其转速为60~100r/min,混匀时间为0.5~2h。

    6.  根据权利要求5所述的钒硅合金靶材的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)的等离子喷涂操作采用真空等离子喷涂系统进行操作,系统真空室内温度为10~80℃,氧含量0~600ppm,压力为100~125个kPa,喷涂距离100~300mm,喷涂功率60~80kW,转盘转速为300~500r/min,送粉速率为3~7kg/h,喷枪移动速率为70~150mm/s,喷涂角度为60°~90°,单次连续喷涂时间为30~60min。

    7.  根据权利要求6所述的钒硅合金靶材的制备方法,其特征在于, 所述等离子喷涂系统的芯模材料采用圆柱形石墨芯模,喷涂厚度为5~100mm。

    8.  根据权利要求6所述的钒硅合金靶材的制备方法,其特征在于,所述步骤(4)的处理方式为:采用真空中频感应烧结炉对所述构件进行烧结处理,升温速率为5~15℃/min,温度20~1500℃,整体烧结时间为2~15h,最后随炉冷却至室温,并对烧结处理后的构件进行机械打磨、超声波清洗处理得到成品。

    关 键 词:
    一种 合金 及其 制备 方法
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