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    广西11选5中奖助手: 用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物及使用其的光致抗蚀剂的剥离方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201480004032.7

    申请日:

    2014.04.28

    公开号:

    CN104903794A

    公开日:

    2015.09.09

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20140428|||公开
    IPC分类号: G03F7/42; H01L21/306 主分类号: G03F7/42
    申请人: 株式会社LG化学
    发明人: 李佑然; 郑大哲; 李东勋; 朴泰文
    地址: 韩国首尔
    优先权: 10-2013-0051381 2013.05.07 KR; 10-2014-0050060 2014.04.25 KR
    专利代理机构: 北京北翔知识产权代理有限公司11285 代理人: 侯婧; 钟守期
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201480004032.7

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2015.10.07|||2015.09.09

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明涉及一种用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物和一种使用其剥离光致抗蚀剂的方法,其中所述用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物在移除和剥离光致抗蚀剂中表现出优异的性能,并可有效地抑制污点在含铜下膜等上的产生和残留。用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物包含至少一种胺化合物;极性有机溶剂;亚烷基二醇系溶剂;和腐蚀抑制剂。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其包含:
    至少一种胺化合物;
    极性有机溶剂;
    亚烷基二醇溶剂;和
    防腐蚀剂。

    2.  权利要求1的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述胺化合物包括选自链状胺化合物和环状胺化合物的至少一种。

    3.  权利要求2的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述链状胺化合物包括至少一种选自如下的化合物:(2-氨基乙氧基)-1-乙醇(AEE)、氨基乙基乙醇胺(AEEA)、单甲醇胺、单乙醇胺、N-甲基乙基胺(N-MEA)、1-氨基异丙醇(AIP)、甲基二甲胺(MDEA)、二亚乙基三胺(DETA)和三亚乙基四胺(TETA)。

    4.  权利要求2的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述环状胺化合物包括至少一种选自如下的化合物:咪唑基-4-乙醇(IME)、氨基乙基哌嗪(AEP)和羟基乙基哌嗪(HEP)。

    5.  权利要求1的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中包括含量为0.1至10重量%的胺化合物,基于全部组合物计。

    6.  权利要求1的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述极性有机溶剂包括非质子极性溶剂、质子极性溶剂或其混合物。

    7.  权利要求6的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述非质子极性溶剂包括至少一种选自如下的化合物:N-甲基甲酰胺(NMF)、二甲基亚砜(DMSO)、二甲基乙酰胺(DMAc)、二丙二醇单甲醚(DPM)、二乙基亚砜、二丙基亚砜、环丁砜、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、二丙二醇单乙基醚(DPE)和N,N’-二烷基甲酰胺。

    8.  权利要求6的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述质子极性溶剂包括至少一种选自如下的亚烷基二醇单烷基醚溶剂:二乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丁醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丙醚、二乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单丙醚、二丙二醇单丁醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、三乙二醇单丙醚、三乙二醇 单丁醚、三丙二醇单甲醚、三丙二醇单乙醚、三丙二醇单丙醚以及三丙二醇单丁醚。

    9.  权利要求1的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中包括含量为20至80重量%的极性有机溶剂,基于全部组合物计。

    10.  权利要求1的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述亚烷基二醇溶剂包括至少一种选自如下的化合物:双(2-羟基乙基)醚、二醇双(羟基乙基)醚和[2-(2-羟基乙氧基)乙氧基]乙醇。

    11.  权利要求1的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中包括含量为10至70重量%的亚烷基二醇溶剂,基于全部组合物计。

    12.  权利要求1的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述防腐蚀剂包括三唑系化合物、四唑系化合物以及如下化学式1或2的化合物,

    在化学式1中,R9为氢或具有1至4个碳原子的烷基,
    R10和R11彼此相同或不同,独立地为具有1至4个碳原子的羟基烷基,且
    a为1至4的整数,

    在化学式2中,R12为氢或具有1至4个碳原子的烷基,且
    b为1至4的整数。

    13.  权利要求9的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中包括含量为0.01至0.5重量%的防腐蚀剂,基于全部组合物计。

    14.  权利要求1的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,还包含硅系 非离子型表面活性剂。

    15.  权利要求14的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中硅系非离子型表面活性剂包括聚硅氧烷系聚合物。

    16.  权利要求14的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中所述硅系非离子型表面活性剂包括至少一种选自如下的化合物:聚醚改性的丙烯?;倌芫鄱谆柩跬?、聚醚改性的硅氧烷、聚醚改性的聚二甲基硅氧烷、聚乙基烷基硅氧烷、芳烷基改性的聚甲基烷基硅氧烷、聚醚改性的羟基官能聚二甲基硅氧烷、聚醚改性的二甲基聚硅氧烷以及改性的丙烯?;倌芫鄱谆柩跬?。

    17.  权利要求14的用于移除光致抗蚀剂的剥离剂组合物,其中包括含量为0.0005至0.1重量%的硅系非离子型表面活性剂,基于全部组合物计。

    18.  一种用于剥离光致抗蚀剂的方法,其包含:
    在形成有含铜下膜的基板上形成光致抗蚀剂图案;
    使用光致抗蚀剂图案将下膜图案化;和
    使用权利要求1至17中任一项的剥离剂组合物剥离光致抗蚀剂。

    关 键 词:
    用于 光致抗蚀剂 剥离 组合 使用 方法
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