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    广西11选5开奖: 具有缺陷图案的掩膜版的后处理方法及使用方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201410083024.8

    申请日:

    2014.03.07

    公开号:

    CN104898370A

    公开日:

    2015.09.09

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/80申请日:20140307|||公开
    IPC分类号: G03F1/80(2012.01)I 主分类号: G03F1/80
    申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
    发明人: 胡华勇
    地址: 201203上海市浦东新区张江路18号
    优先权:
    专利代理机构: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 屈蘅; 李时云
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201410083024.8

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2015.10.07|||2015.09.09

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了一种具有缺陷图案的掩膜版的后处理方法,通过激光在具有缺陷的图案处的石英玻璃中形成阴影以降低具有缺陷图案处的透光率,在利用具有缺陷图案的掩膜版进行曝光的过程中,避免了缺陷图案在晶圆上的形成,从而降低了光刻工艺后的晶圆发生缺陷的风险,由此再利用了具有缺陷的掩膜版,从而避免了修复具有缺陷的掩膜版或者重新制作掩膜版所带来的高制造成本的问题,即降低了制造成本;同时,又提高了生产良率。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种具有缺陷图案的掩膜版的后处理方法,其特征在于,包括:
    提供一掩膜版,所述掩膜版包括多个图案,其中一个或者多个图案具有缺陷;
    通过激光在具有缺陷的图案处的石英玻璃中形成阴影以降低具有缺陷图案处的石英玻璃的透光率。

    2.  如权利要求1所述的具有缺陷图案的掩膜版的后处理方法,其特征在于,经过激光处理后,所述具有缺陷的图案处的石英玻璃的透光率小于50%。

    3.  如权利要求1所述的具有缺陷图案的掩膜版的后处理方法,其特征在于,所述具有缺陷的图案为小于设计规则的线条或岛型图案。

    4.  如权利要求1所述的具有缺陷图案的掩膜版的后处理方法,其特征在于,利用脉冲激光器产生脉冲激光,利用脉冲激光在具有缺陷的图案处的石英玻璃中形成阴影。

    5.  如权利要求4所述的具有缺陷图案的掩膜版的后处理方法,其特征在于,利用脉冲激光在具有缺陷的图案处的石英玻璃中形成阴影的用时为1ms~1000s。

    6.  一种具有缺陷图案的掩膜版的使用方法,其特征在于,包括:
    提供一掩膜版,所述掩膜版包括多个图案,其中一个或者多个图案具有缺陷;
    通过激光在具有缺陷的图案处的石英玻璃中形成阴影以降低具有缺陷图案处的石英玻璃的透光率;
    将经过激光处理后的掩膜版置于光刻机中,以使所述经过激光处理后的掩膜版用于光刻工艺。

    7.  如权利要求6所述的具有缺陷图案的掩膜版的使用方法,其特征在于,所述具有缺陷的图案将不发生转移。

    8.  如权利要求6所述的具有缺陷图案的掩膜版的使用方法,其特征在于,经过激光处理后,所述具有缺陷的图案处的石英玻璃的透光率小于50%。

    9.  如权利要求6所述的具有缺陷图案的掩膜版的使用方法,其特征在于,所述具有缺陷的图案为小于设计规则的线条或岛型图案。

    10.  如权利要求6所述的具有缺陷图案的掩膜版的使用方法,其特征在于, 利用脉冲激光器产生脉冲激光,利用脉冲激光在具有缺陷的图案处的石英玻璃中形成阴影。

    关 键 词:
    具有 缺陷 图案 掩膜版 处理 方法 使用方法
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