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    广西11选5开奖走势图: 基板层叠装置、基板层叠方法及立体显示装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510100810.9

    申请日:

    2015.03.06

    公开号:

    CN104898310A

    公开日:

    2015.09.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/13申请日:20150306|||公开
    IPC分类号: G02F1/13; G02B27/22 主分类号: G02F1/13
    申请人: NLT科技股份有限公司
    发明人: 朝仓哲朗; 重村幸治
    地址: 日本神奈川县
    优先权: 2014-044431 2014.03.06 JP
    专利代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 代理人: 黄志华; 何月华
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510100810.9

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2019.05.10|||2016.10.19|||2015.09.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供基板层叠装置、基板层叠方法及立体显示装置,特别是一种能够高精度层叠两个基板的同时实现低成本和节省的空间的基板层叠装置和基板层叠方法。该基板层叠装置包括设置于下真空室用以拍摄固定到上真空室的上基板的图像的上基板摄像机组。上基板摄像机组利用与下真空室同步的动作拍摄固定到上真空室的上基板的第一上基板对准标记和第二上基板对准标记的图像。由此,通过减少机械部件的数量能够节省空间并降低成本。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种基板层叠装置,包括:
    第一真空室,所述第一真空室包括第一开口;
    第一台座,所述第一台座设置在所述第一真空室的所述第一开口内用以保持第一基板;
    第二真空室,所述第二真空室包括第二开口;
    第二台座,所述第二台座设置在所述第二真空室的所述第二开口内用以保持第二基板;
    移动机构单元,所述移动机构单元使所述第一真空室移动以使所述第一开口面向所述第二开口而能够形成封闭空间;
    图像拍摄单元,所述图像拍摄单元设置在所述第一真空室的所述第一开口的外侧,从而通过所述移动机构单元而与所述第一真空室一起移动并拍摄保持于所述第二台座的所述第二基板的图像,来获得所述第二基板的位置信息;以及
    控制单元,所述控制单元根据由所述图像拍摄单元获得的所述第二基板的位置信息,将保持于所述第一台座的所述第一基板层叠到所述第二基板。

    2.  根据权利要求1所述的基板层叠装置,其中,
    当将所述第一台座的基板保持面和所述第二台座的基板保持面定义为XY平面,并将与所述XY平面正交的方向定义为Z方向时,所述第一真空室的移动方向仅是所述XY平面上的任意的单轴方向。

    3.  根据权利要求2所述的基板层叠装置,其中,
    当在层叠所述第一基板和所述第二基板时存在使层叠精度优先的方向,并且所述方向被定义为层叠精度优先方向时,所述第一真空室的移动方向是与所述层叠精度优先方向不同的方向。

    4.  根据权利要求3所述的基板层叠装置,其中,
    所述第一真空室的移动方向与所述层叠精度优先方向正交。

    5.  根据权利要求2所述的基板层叠装置,其中,
    在所述XY平面上不存在所述第二真空室的移动方向。

    6.  根据权利要求2所述的基板层叠装置,其中,
    所述第二真空室的移动方向仅是所述Z方向。

    7.  根据权利要求1所述的基板层叠装置,其中,
    所述第一真空室是设置在所述封闭空间的下侧的真空室,以及
    所述第二真空室是设置在所述封闭空间的上侧的真空室。

    8.  一种基板层叠装置,包括:
    第一真空室,所述第一真空室包括第一开口;
    第一台座,所述第一台座设置在所述第一真空室的所述第一开口内用以保持第一基板;
    第二真空室,所述第二真空室包括第二开口;
    第二台座,所述第二台座设置在所述第二真空室的所述第二开口内用以保持第二基板,
    其中,通过减小由使所述第一开口面向所述第二开口而形成的封闭空间的压力将所述第一基板和所述第二基板层叠,所述基板层叠装置还包括:
    真空排气单元,所述真空排气单元与所述第一真空室或所述第二真空室连接,并进行所述封闭空间的减压排气,其中,
    当层叠所述第一基板和所述第二基板时存在使层叠精度优先的方向,并将所述方向定义为层叠精度优先方向时,所述真空排气单元的减压排气方向是与所述层叠精度优先方向不同的方向。

    9.  根据权利要求8所述的基板层叠装置,其中,
    在所述第一台座或所述第二台座上设置精度确?;?,
    将所述精度确?;共僮鞯姆较蚨ㄒ逦愕扔畔确较?,以及
    所述减压排气方向是与所述层叠精度优先方向不同的方向。

    10.  根据权利要求8所述的基板层叠装置,其中,
    所述层叠精度优先方向与所述减压排气方向大致正交。

    11.  根据权利要求8所述的基板层叠装置,其中,
    所述第一真空室的移动方向与所述减压排气方向大致平行。

    12.  根据权利要求8所述的基板层叠装置,其中,
    所述第二真空室的移动方向仅是所述减压排气方向。

    13.  根据权利要求8所述的基板层叠装置,其中,
    所述第一真空室是设置在所述封闭空间的下侧的真空室,以及
    所述第二真空室是设置在所述封闭空间的上侧的真空室。

    14.  根据权利要求1所述的基板层叠装置,其中,
    所述第一基板是光学基板和显示面板中的一者;且
    所述第二基板是所述光学基板和所述显示面板中的另一者。

    15.  一种使用基板层叠装置的基板层叠方法,所述基板层叠装置包括:
    第一真空室,所述第一真空室包括第一开口;
    第一台座,所述第一台座设置在所述第一真空室的所述第一开口内用以保持第一基板;
    第二真空室,所述第二真空室包括第二开口;
    第二台座,所述第二台座设置在所述第二真空室的所述第二开口内用以保持第二基板;
    移动机构单元,所述移动机构单元使所述第一真空室移动以使所述第一开口面向所述第二开口而能够形成封闭空间;以及
    图像拍摄单元,所述图像拍摄单元设置在所述第一真空室的所述第一开口的外侧,
    所述基板层叠方法包括:
    通过所述移动机构单元使所述图像拍摄单元与所述第一真空室一起移动;
    通过使用所述图像拍摄单元拍摄保持于所述第二台座的所述第二基板的图像,获得所述第二基板的位置信息;以及
    根据由此获得的所述第二基板的位置信息,将保持于所述第一台座的所述第一基板层叠到所述第二基板。

    16.  一种使用基板层叠装置的基板层叠方法,所述基板层叠装置包括:
    第一真空室,所述第一真空室具有保持第一基板的第一台座;
    第二真空室,所述第二真空室具有保持第二基板的第二台座;以及
    图像拍摄单元,所述图像拍摄单元设置于所述第一真空室并读取所述第二基板的位置信息,其中,当将所述第一台座的基板保持面和所述第二台座的基板保持面定义为XY平面,并将与所述XY平面正交的方向定义为Z方向时,所述第一真空室的移动方向仅是所述XY平面上的任意的单轴方向;并且通过减小由所述第一真空室和所述第二真空室形成的封闭空间内的压力,层叠所述第一基板和所述第二基板,
    所述基板层叠方法包括:
    第一步骤,使所述第一真空室位于基板保持位置并且使所述第二基板保持于所述第一台座;
    第二步骤,使包括所述第二基板的所述第一真空室从所述基板保持位置沿着所述移动方向移动至所述第二真空室在所述Z方向上所在的封闭空间形成位置;
    第三步骤,使所述第二真空室在所述Z方向上下降,并使所述第二基板从所述第一台座移动至所述第二台座;
    第四步骤,使所述第二真空室在所述Z方向上上升;
    第五步骤,使所述第一真空室从所述封闭空间形成位置返回到所述基板保持位置;以及
    第六步骤,当实施所述第五步骤时,通过与所述第一真空室一体化的所述图像拍摄单元,拍摄所述第二基板的标记的图像。

    17.  根据权利要求16所述的基板层叠方法,其中,
    在所述第六步骤中,所述图像拍摄单元沿着所述第一真空室的移动方向在至少两个位置上拍摄所述第二基板的标记的图像。

    18.  一种使用如权利要求15所述的基板层叠方法制造的立体图像显示装置。

    19.  一种使用如权利要求16所述的基板层叠方法制造的立体图像显示装置。

    关 键 词:
    层叠 装置 方法 立体 显示装置
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