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    广西11选5开奖查询: 基于拨杆机构的双工件台换台自转装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510475149.X

    申请日:

    2015.08.06

    公开号:

    CN105005180A

    公开日:

    2015.10.28

    当前法律状态:

    撤回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G03F 7/20申请公布日:20151028|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150806|||公开
    IPC分类号: G03F7/20; H01L21/67 主分类号: G03F7/20
    申请人: 哈尔滨工业大学
    发明人: 陈兴林; 陈震宇; 刘杨; 付雪微
    地址: 150000黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
    优先权:
    专利代理机构: 哈尔滨龙科专利代理有限公司23206 代理人: 高媛
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510475149.X

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.10.31|||2015.11.25|||2015.10.28

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的视为撤回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    基于拨杆机构的双工件台换台自转装置,本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的第一抓卡机构抓卡在第一环形座上,第二抓卡机构抓卡在第二环形座上,第一直线滑动轴承安装在第一上平台下端面上,第二直线滑动轴承安装在第二上平台下端面上;第一直线导杆的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器上,第二直线导杆的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器上;第一直线导杆的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承内,第二直线导杆的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承内。本发明将工件台自转的旋转运动转化为拨杆驱动器的直线运动,可以减小控制系统的设计难度;解决了以往旋转换台方案硅片台相位反转与光学系统配套难的问题。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  基于拨杆机构的双工件台换台自转装置,其特征在于它包括框架(1)、公转电机(2)、第一工作台总成(3)、第二工作台总成(4)、第一直线滑动轴承(5)、第二直线滑动轴承(6)、第一直线导杆(7)、第二直线导杆(8)、第一随动导杆驱动器(9)、第二随动导杆驱动器(10);
    第一工作台总成(3)由第一上平台(3-1)和第一环形座(3-2)组成;第一环形座(3-2)通过气浮轴承转动套接在第一上平台(3-1)的下端转轴上;第二工作台总成(4)由第二上平台(4-1)和第二环形座(4-2)组成;第二环形座(4-2)通过气浮轴承转动套接在第二上平台(4-1)的下端转轴上;公转电机(2)设置在框架(1)的中心位置上,公转电机(2)的第一抓卡机构(2-1)抓卡在第一工作台总成(3)的第一环形座(3-2)上,公转电机(2)的第二抓卡机构(2-2)抓卡在第二工作台总成(4)的第二环形座(4-2)上,第一直线滑动轴承(5)安装在第一上平台(3-1)下端面上,第二直线滑动轴承(6)安装在第二上平台(4-1)下端面上,第一随动导杆驱动器(9)滑动设置在框架(1)上,第二随动导杆驱动器(10)滑动设置在框架(1)上;第一直线导杆(7)的一端垂直安装在第一随动导杆驱动器(9)上,第二直线导杆(8)的一端垂直安装在第二随动导杆驱动器(10)上;第一直线导杆(7)的另一端滑动镶嵌在第一直线滑动轴承(5)内,第二直线导杆(8)的另一端滑动镶嵌在第二直线滑动轴承(6)内,当公转电机(2)在逆时针旋转180度后再顺时针旋转180度的循环过程中时,第一直线导杆(7)能在第一直线滑动轴承(5)内做直线滑动,能限制第一工作台总成(3)的第一上平台(3-1)的转动角度为零,第一随动导杆驱动器(9)能跟随第一直线导杆(7)的往复直线滑动动作在框架(1)上做往复直线滑动;第二直线导杆(8)能在第二直线滑动轴承(6)内做直线滑动,能限制第二工作台总成(4)的第二上平台(4-1)的转动角度为零,第二随动导杆驱动器(10)能跟随第二直线导杆(8)的往复直线滑动动作在框架(1)上做往复直线滑动。

    关 键 词:
    基于 机构 双工 件台换台 自转 装置
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