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    体彩广西11选5走势图: 圆筒形CUGA合金溅射靶材和其制造方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201380071399.6

    申请日:

    2013.10.11

    公开号:

    CN105008578A

    公开日:

    2015.10.28

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20131011|||公开
    IPC分类号: C23C14/34; B22F3/15; C22C1/04; C22C9/00 主分类号: C23C14/34
    申请人: 住友金属矿山株式会社
    发明人: 高桥辰也; 山岸浩一
    地址: 日本东京都
    优先权: 2013-012023 2013.01.25 JP
    专利代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 代理人: 刘新宇; 李茂家
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201380071399.6

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.03.22|||2015.11.25|||2015.10.28

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    得到无裂纹、破裂、无相对密度和Ga浓度的波动的圆筒形Cu-Ga合金溅射靶材。使用热等静压法,在厚度为1.0mm以上且小于3.5mm的圆筒形的包套(1)中以填充密度为60%以上的方式填充Cu-Ga合金粉末或Cu-Ga合金成型体,进行热等静压,从而得到Cu-Ga合金烧结体。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种圆筒形Cu-Ga合金溅射靶材,其特征在于,Ga的量以重量比计为20~40质量%,余量包含Cu和不可避免的杂质,
    所述圆筒形Cu-Ga合金溅射靶材的相对密度为99%以上、相对密度的波动为1.0%以内、Ga浓度的波动为1.0质量%以内。

    2.  一种圆筒形Cu-Ga合金溅射靶材的制造方法,其为使用热等静压法,制造Ga的量以重量比计为20~40质量%、余量包含Cu和不可避免的杂质的圆筒形Cu-Ga合金溅射靶材的方法,其特征在于,
    在厚度为1.0mm以上且小于3.5mm的圆筒形的包套中以填充密度为60%以上的方式填充Cu-Ga合金粉末或Cu-Ga合金成型体,进行热等静压,从而得到Cu-Ga合金烧结体。

    3.  根据权利要求2所述的圆筒形Cu-Ga合金溅射靶材的制造方法,其特征在于,以所述包套与所述填充了的Cu-Ga合金粉末或Cu-Ga合金成型体之间为1.0mm以下的方式将Cu-Ga合金粉末或Cu-Ga合金成型体填充至所述包套。

    关 键 词:
    圆筒 CUGA 合金 溅射 制造 方法
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