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    广西11选5人工预测: 低温泵及低温泵的再生方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510104807.4

    申请日:

    2015.03.10

    公开号:

    CN104929897A

    公开日:

    2015.09.23

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):F04B 37/08申请日:20150310|||公开
    IPC分类号: F04B37/08 主分类号: F04B37/08
    申请人: 住友重机械工业株式会社
    发明人: 及川健
    地址: 日本东京都
    优先权: 2014-054441 2014.03.18 JP
    专利代理机构: 广州三环专利代理有限公司44202 代理人: 温旭; 郝传鑫
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510104807.4

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.04.26|||2015.10.21|||2015.09.23

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种低温泵及低温泵的再生方法,本发明的课题在于,在低温泵的再生中使低温泵有效地升温。本发明的低温泵的再生方法具备如下工序:向低温泵供给吹扫气体以使低温板加热至高于水的融点的第1温度域;当低温板温度处于第1温度域时,停止向低温泵供给吹扫气体;将低温板从第1温度域加热至高于吹扫气体温度的第2温度域。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种低温泵,其特征在于,具备:
    低温板;
    低温泵容器,容纳所述低温板;
    排气阀,设置于所述低温泵容器内且用于向所述低温泵容器供给吹扫气体;
    与上述吹扫气体不同的热源,其用于加热所述低温板;及
    控制部,控制低温泵的再生,
    所述控制部构成为执行以下工序:
    打开所述排气阀,使吹扫气体供给所述低温泵容器,以使所述低温板加热至高于水的融点的第1温度域;
    当低温板温度处于所述第1温度域时,关闭所述排气阀,停止向所述低温泵容器供给所述吹扫气体;及
    控制所述热源,使所述低温板从所述第1温度域加热至高于吹扫气体温度的第2温度域。

    2.  根据权利要求1所述的低温泵,其特征在于,
    所述低温泵还具备设置于所述低温泵容器内且用于对所述低温泵容器进行粗抽的粗抽阀,
    所述控制部在将所述低温板从所述第1温度域加热至所述第2温度域的过程中,打开所述粗抽阀,对所述低温泵容器进行粗抽。

    3.  根据权利要求2所述的低温泵,其特征在于,
    所述控制部在将所述低温板从所述第1温度域加热至所述第2温度域的过程中,执行交替进行所述低温泵容器的粗抽及所述吹扫气体的供给的升温粗抽及吹扫,
    所述控制部在低温板温度处于所述第2温度域时,执行交替进行所述低温泵容器的粗抽及所述吹扫气体的供给的排出粗抽及吹扫。

    4.  根据权利要求3所述的低温泵,其特征在于,
    所述升温粗抽及吹扫中的吹扫间隔比所述排出粗抽及吹扫中的吹扫间隔长,和/或,所述升温粗抽及吹扫中的吹扫时间比所述排出粗抽及吹扫中的吹 扫时间短。

    5.  根据权利要求3或4所述的低温泵,其特征在于,
    所述升温粗抽及吹扫中的粗抽压力高于所述排出粗抽及吹扫中的粗抽压力。

    6.  根据权利要求1至5中任一项所述的低温泵,其特征在于,
    所述低温泵还具备:制冷机,该制冷机具备第1冷却台及被冷却至比所述第1冷却台更低温度的第2冷却台;及
    温度传感器,用于测定所述低温板的温度,
    所述低温板具备:高温低温板,通过所述第1冷却台被冷却;及低温低温板,通过所述第2冷却台被冷却,
    所述高温低温板具备:放射屏蔽件,该放射屏蔽件包围所述低温低温板且具有屏蔽件开口端;及入口低温板,配设于所述屏蔽件开口端,
    所述温度传感器设置于所述入口低温板的中心部。

    7.  根据权利要求1至6中任一项所述的低温泵,其特征在于,
    所述吹扫气体温度为室温。

    8.  一种低温泵的再生方法,其特征在于,具备如下工序:
    向低温泵供给吹扫气体以使低温板加热至高于水的融点的第1温度域;
    当低温板温度处于第1温度域时,停止向低温泵供给吹扫气体;及
    将所述低温板从所述第1温度域加热至高于吹扫气体温度的第2温度域。

    9.  根据权利要求8所述的方法,其特征在于,
    所述方法还具备如下工序:在将所述低温板从所述第1温度域加热至所述第2温度域的过程中,对所述低温泵进行粗抽。

    10.  根据权利要求8或9所述的方法,其特征在于,
    所述方法还具备如下工序:当低温板温度处于所述第2温度域时,从低温泵排出水。

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    低温泵 再生 方法
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