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    广西11选5人工计划: 彩膜基板的制作方法及其结构.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510407669.7

    申请日:

    2015.07.10

    公开号:

    CN104932139A

    公开日:

    2015.09.23

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/1335申请日:20150710|||公开
    IPC分类号: G02F1/1335 主分类号: G02F1/1335
    申请人: 武汉华星光电技术有限公司
    发明人: 孙海燕; 申智渊; 龙冲
    地址: 430070湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
    优先权:
    专利代理机构: 深圳市德力知识产权代理事务所44265 代理人: 林才桂
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510407669.7

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2015.10.21|||2015.09.23

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种彩膜基板的制作方法及其结构。本发明的彩膜基板的制作方法,通过采用三道半色调光罩依次对红、绿、蓝色阻层进行曝光、显影,分别在形成红、绿、蓝色阻块的同时,形成红、绿、蓝色阻薄膜,使红、绿、蓝色阻薄膜叠加构成复合色阻薄膜,代替了黑色矩阵,省去了黑色矩阵制程,并可通过调节红、绿、蓝色阻薄膜的厚度控制所述复合色阻薄膜的厚度,以调节遮光效果;同时避免了因色阻和黑色矩阵之间相互覆盖而产生的牛角现象,避免了色差,改善了产品品质,提升了产品良率。本发明的彩膜基板结构,采用红、绿、蓝色阻薄膜叠加构成的复合色阻薄膜代替了黑色矩阵,成本较低,且避免了因色阻和黑色矩阵之间相互覆盖而产生的牛角现象,无色差。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种彩膜基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
    步骤1、提供基板(1),在所述基板(1)上沉积第一色阻层;
    通过第一道半色调光罩(91)对所述第一色阻层进行曝光、显影,在所述基板(1)上得到数个间隔分布的第一色阻块(10)、及数个第一色阻薄膜(101);
    其中,每两个相邻的第一色阻块(10)之间间隔分布有三个第一色阻薄膜(101),所述三个第一色阻薄膜(101)中位于两侧的第一色阻薄膜(101)分别与其邻近的第一色阻块(10)相连接,所述三个第一色阻薄膜(101)之间形成两个第一间隙(102);
    步骤2、在所述基板(1)上沉积第二色阻层,所述第二色阻层填充于所述数个第一色阻块(10)之间的区域,并覆盖所述数个第一色阻薄膜(101);
    通过第二道半色调光罩(92)对所述第二色阻层进行曝光、显影,在所述基板(1)上得到分别位于所述数个第一色阻块(10)同一侧的第一间隙(102)处的数个第二色阻块(20)、及位于所述数个第一色阻薄膜(101)上的数个第二色阻薄膜(201);
    步骤3、在所述基板(1)上沉积第三色阻层,所述第三色阻层填充于所述数个第一、第二色阻块(10、20)之间的区域,并覆盖所述数个第二色阻薄膜(201);
    通过第三道半色调光罩(93)对所述第三色阻层进行曝光、显影,在所述基板(1)上得到分别位于所述数个第二色阻块(20)远离所述第一色阻块(10)一侧的第一间隙(102)处的数个第三色阻块(30)、及位于所述数个第二色阻薄膜(201)上的数个第三色阻薄膜(301);
    所述数个相对应的第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)从下至上依次叠加,形成数个复合色阻薄膜,所述数个复合色阻薄膜位于所述数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)之间,从而代替黑色矩阵,起到遮挡漏光的作用。

    2.  如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法,其特征在于,还包括:步骤4、在所述数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)、及第三色阻薄膜(301)上制作外覆层。

    3.  如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法,其特征在于,所述第一、第二、第三色阻为红、绿、蓝色阻按任意顺序的排列组合。

    4.  如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法,其特征在于,步骤2中,所述第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)的大小和形状完全相同。

    5.  如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法,其特征在于,步骤3中,所述第一、第二、第三色阻块(10、20、30)的厚度相同。

    6.  如权利要求1所述的彩膜基板的制作方法,其特征在于,通过调整所述第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)的厚度来控制所述复合色阻薄膜的光密度值。

    7.  一种彩膜基板结构,其特征在于,包括基板(1)、间隔分布于所述基板(1)上的数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)、及设于所述基板(1)上将所述数个第一、第二、第三色阻块(10、20、30)间隔开的数个复合色阻薄膜;
    所述复合色阻薄膜包括叠加设置的第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)。

    8.  如权利要求7所述的彩膜基板结构,其特征在于,所述第一、第二、第三色阻为红、绿、蓝色阻按任意顺序的排列组合。

    9.  如权利要求7所述的彩膜基板结构,其特征在于,所述复合色阻薄膜从下至上依次由第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)叠加而成,构成每一复合色阻薄膜的第一、第二、第三色阻薄膜(101、201、301)中,有两层色阻薄膜分别与其邻近的第一、第二、或第三色阻块(10、20、30)颜色相同。

    10.  如权利要求7所述的彩膜基板结构,其特征在于,所述第一、第二、第三色阻块(10、20、30)呈岛状。

    关 键 词:
    彩膜基板 制作方法 及其 结构
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