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    广西11选5同步开奖结果查询: 一种直写光刻设备的位置同步方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510267861.0

    申请日:

    2015.05.23

    公开号:

    CN104932207A

    公开日:

    2015.09.23

    当前法律状态:

    驳回

    有效性:

    无权

    法律详情: 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G03F 7/20申请公布日:20150923|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150523|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 合肥芯硕半导体有限公司
    发明人: 李宇; 李香滨; 何少锋; 方林
    地址: 230601安徽省合肥市经开区锦绣大道68号
    优先权:
    专利代理机构: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司34112 代理人: 余成俊
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510267861.0

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2019.04.05|||2015.10.21|||2015.09.23

    法律状态类型:

    发明专利申请公布后的驳回|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种用于直写光刻设备的位置同步方法,首先提取光栅尺的反馈信号,经过板卡内部处理后计算出平台的实时运动状态(运动方向、运动速度、位置),从而可以根据上位机的参数设定,完成输出精确的位置同步信号。此方法可以有效避免因平台驱动器内部算法补偿带来的同步位置输出信号输出误差,使直写光刻设备的对准精度及曝光扫描精度得到提升。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种直写光刻设备的位置同步方法,其特征在于:包括以下步骤:
    (1)首先提取光刻设备所用平台的光栅尺反馈信号A+,A-,B+,B-,Z+,Z-,其中A,B信号为光栅尺反馈的差分位置信号,通过A,B相位的比较及脉冲数计算可提取平台的运动方向及距零点的距离,Z信号为平台零点信号,通过Z信号脉冲确定平台运行的零点;
    (2)使用差分信号处理单元将光栅尺信号转为单端信号A,B,Z;
    (3)使用FPGA单元做为高速处理器,计算光栅尺反馈信号,从而得到平台运动的位置、速度;
    (4)、由上位机设定平台运动的位置同步信号触发窗口,触发间距参数至FPGA单元,。

    2.  FPGA单元根据设定参数输出平台运动的位置同步脉冲信号至曝光处理单元,完成曝光扫描过程中的的位置同步功能。

    3.  根据权利要求1所述的一种直写光刻设备的位置同步方法,其特征在于:步骤(2)中光栅尺获取单元为差分信号处理单元。

    4.  根据权利要求1所述的一种直写光刻设备的位置同步方法,其特征在于:使用FPGA单元直接处理平台精密光栅尺反馈信号,通过高速信号处理,获取平台的实时运动状态,从而可根据上位机的参数设定,向曝光处理单元发送位置同步信号。

    关 键 词:
    一种 光刻 设备 位置 同步 方法
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