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    广西11选5 同步开奖直播室: 一种掩膜板及其制备方法、掩膜板的回收方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510434545.8

    申请日:

    2015.07.22

    公开号:

    CN104932194A

    公开日:

    2015.09.23

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/68申请日:20150722|||公开
    IPC分类号: G03F1/68(2012.01)I; G03F1/00(2012.01)I 主分类号: G03F1/68
    申请人: 京东方科技集团股份有限公司; 北京京东方光电科技有限公司
    发明人: 王彦强; 曲连杰
    地址: 100015北京市朝阳区酒仙桥路10号
    优先权:
    专利代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 代理人: 柴亮; 张天舒
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510434545.8

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2015.10.21|||2015.09.23

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种掩膜板及其制备方法、掩膜板的回收方法,属于显示技术领域,其可解决现有的去除掩模图形后的基板会产生的“鬼影”现象,且回收成本昂贵的问题。本发明的掩膜板,包括基板以及设置在所述基板上的掩膜图形,其中,在所述基板和所述掩膜图形之间还设置有牺牲层,所述牺牲层用于将所述掩膜图形和所述基板相隔离。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种掩膜板,其特征在于,包括基板以及设置在所述基板上的掩膜图形,其中,在所述基板和所述掩膜图形之间还设置有牺牲层,所述牺牲层用于将所述掩膜图形和所述基板相隔离。

    2.  根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述牺牲层覆盖整个基板或所述牺牲层和所述掩膜图形的图形相同。

    3.  根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,所述牺牲层的材料包括透明材料。

    4.  根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,当所述牺牲层和所述掩膜图形的图形相同时,所述牺牲层的材料包括非金属材料。

    5.  根据权利要求1至4任一所述的掩膜板,其特征在于,所述牺牲层的折射率为1~1.5。

    6.  一种掩膜板的制备方法,其特征在于,包括:
    在基板之上形成牺牲层和掩膜图形,所述牺牲层位于所述基板和所述掩膜图形之间,所述牺牲层用于将所述掩膜图形和所述基板相隔离。

    7.  根据权利要求6所述的掩膜板的制备方法,其特征在于,所述在基板之上形成牺牲层和掩膜图形包括:
    在所述基板之上形成牺牲层,所述牺牲层覆盖整个基板;
    在所述牺牲层之上形成掩膜图形材料层,对掩膜图形材料层进行构图工艺形成掩膜图形;
    或,
    在所述基板之上连续形成牺牲层材料层和掩膜图形材料层;
    对牺牲层材料层和掩膜图形材料层进行构图工艺形成牺牲层和掩膜图形。

    8.  根据权利要求7所述的掩膜板的制备方法,其特征在于,所述牺牲层的材料包括透明材料。

    9.  根据权利要求6所述的掩膜板的制备方法,其特征在于,当所述在基板之上形成牺牲层和掩膜图形包括:
    在所述基板之上连续形成牺牲层材料层和掩膜图形材料层;
    对牺牲层材料层和掩膜图形材料层进行构图工艺形成牺牲层和掩膜图形时,所述牺牲层的材料包括非金属材料。

    10.  一种掩膜板的回收方法,其特征在于,所述掩膜板为权利要求1至5任意一项所述的掩膜板,所述回收方法包括:
    去除所述掩膜图形和所述牺牲层。

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    一种 掩膜板 及其 制备 方法 回收
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