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    广西11选5同步开奖直播室: 一种复合纳米压印软模板及其制备方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510168102.9

    申请日:

    2015.04.10

    公开号:

    CN104932195A

    公开日:

    2015.09.23

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 著录事项变更IPC(主分类):G03F 7/00变更事项:申请人变更前:苏州锦富新材料股份有限公司变更后:苏州锦富技术股份有限公司变更事项:地址变更前:215126 江苏省苏州市苏州工业园区胜浦分区江浦路39号变更后:215126 江苏省苏州工业园区江浦路39号|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20150410|||公开
    IPC分类号: G03F7/00 主分类号: G03F7/00
    申请人: 苏州锦富新材料股份有限公司
    发明人: 马慧军; 王鹏; 韦冬
    地址: 215126江苏省苏州市苏州工业园区胜浦分区江浦路39号
    优先权:
    专利代理机构: 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 代理人: 陶海锋
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510168102.9

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.07.04|||2015.10.21|||2015.09.23

    法律状态类型:

    著录事项变更|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种复合纳米压印软模板及其制备方法,具体为先制备由PDMS树脂层组成的弹性层,再制备由UV树脂层组成的硬质层,然后将弹性层覆于硬质层之上,固化后得到复合纳米压印软模板。本发明采用多层递进变化方法制备的复合纳米压印软模板,既可以获得较高硬度的结构层,又可以解决高硬度层脱落和开裂的问题;并且制备工艺简易、成本低,适于工业化生产。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种复合纳米压印软模板,包括弹性层与硬质层,其特征在于:
    所述弹性层位于硬质层上方;
    所述硬质层下方具有压印结构;
    所述弹性层由至少2层PDMS树脂层构成;
    所述硬质层由至少2层UV树脂层构成;
    所述弹性层中,PDMS树脂层的弹性模量自下而上逐层递减;
    所述硬质层中,UV树脂层的硬度自下而上逐层递减;
    所述弹性层的厚度为0.2mm~10mm;
    所述硬质层的厚度为40nm~100μm。

    2.  根据权利要求1所述的复合纳米压印软模板,其特征在于:所述PDMS树脂层的弹性模量为1~15Mpa;所述PDMS树脂层的厚度为0.1mm~5mm;所述UV树脂层的厚度为20nm~50μm。

    3.  根据权利要求1所述的复合纳米压印软模板,其特征在于:所述PDMS树脂层的紫外线透过率大于95%;所述UV树脂层的紫外线透过率大于95%。

    4.  根据权利要求1所述的复合纳米压印软模板,其特征在于:所述UV树脂由丙烯酸酯预聚物、丙烯酸酯单体、光引发剂和助剂制备得到。

    5.  根据权利要求4所述的复合纳米压印软模板,其特征在于:按质量比,所述丙烯酸酯预聚物∶丙烯酸酯单体∶光引发剂∶助剂为(10~30)∶(40~90)∶(1~5)∶(0.5~1)。

    6.  权利要求1所述复合纳米压印软模板的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
    (1) 在模具中浇注一层PDMS树脂,真空固化后得到PDMS树脂层,为第一层PDMS树脂层;然后在第一层PDMS树脂层上浇注一层PDMS树脂,真空固化后得到PDMS树脂层,为第二层PDMS树脂层;重复PDMS树脂层制备,得到至少包含2层PDMS树脂层的弹性层;所述第一层PDMS树脂层的弹性模量最??; 
    (2) 对母模板表面进行防粘处理;在防粘处理后的母模板表面旋涂UV树脂体系,紫外光固化后得到UV树脂层,为第一层UV树脂层;然后在第一层UV树脂层表面旋涂UV树脂体系,重复UV树脂层的制备;在最后一次旋涂UV树脂体系后,将步骤(1)的弹性层覆于旋涂的UV树脂体系上,紫外光固化后得到复合纳米压印软模板;所述第一层UV树脂层的硬度最大。

    7.  根据权利要求6所述复合纳米压印软模板的制备方法,其特征在于:步骤(1)中真空固化时的温度为60~150℃, 固化时间为1~8小时。

    8.  根据权利要求6所述复合纳米压印软模板的制备方法,其特征在于:步骤(2)中,所述母模板为由硅或石英材料制作的硬模板。

    9.  根据权利要求6所述复合纳米压印软模板的制备方法,其特征在于:步骤(2)中对母模板表面进行防粘处理的处理方式为在母模板表面旋涂防粘试剂或采用气相沉积工艺生长一层防粘薄膜。

    10.  根据权利要求6所述复合纳米压印软模板的制备方法,其特征在于:步骤(2)中紫外光固化的能量为500~1500mJ/cm2,固化时间为1~2min。

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    一种 复合 纳米 压印 模板 及其 制备 方法
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