• 一切都是老板炒工人的鱿鱼 2019-07-14
  • 赏花不用跑远 宗角禄康开得正艳 2019-07-14
  • 车俊会见毛里求斯代总统 2019-07-14
  • 除了杨崇勇,“2亿元贪官俱乐部”至少还有这些人 2019-07-09
  • [民生热线]咸安西大街烤鸭店每天油烟扰民 区政府:已责令整改 2019-07-09
  • 海淀:得天独厚的自然条件 2019-07-09
  • 进京通行证限次数!70.9万辆本地化使用外埠号牌车或将受影响 2019-07-06
  • 6月14日凤凰直通车:茅台再开市场化招聘大门,32个部门要285人葡萄 种植 2019-07-05
  • 东京湾产业转型启示录 2019-07-05
  • 中国三星获第十二届人民企业社会责任奖年度扶贫奖 2019-06-30
  • 一个语文基础都没有的人就喜欢指手画脚, 2019-06-30
  • 匹夫有责之一百一十二—道义大义的博客—强国博客—人民网 2019-06-25
  • 原来端午节也可以过得很“文艺” 2019-06-10
  • 女性之声——全国妇联 2019-06-10
  • 乌鲁木齐县田园风光醉游人 2019-06-09
    • / 9
    • 下载费用:20 金币  

    广西11选5前3: 气体供给装置及具有其的光刻投影物镜.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510600397.2

    申请日:

    2015.09.21

    公开号:

    CN105137719A

    公开日:

    2015.12.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20150921|||公开
    IPC分类号: G03F7/20 主分类号: G03F7/20
    申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
    发明人: 崔洋; 于淼; 李佩玥; 彭吉; 隋永新; 杨怀江
    地址: 130000吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
    优先权:
    专利代理机构: 代理人:
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510600397.2

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2017.10.31|||2016.01.06|||2015.12.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种气体供给装置及具有其的光刻投影物镜,该气体供给装置包括:气源及供气控制管路,供气控制管路的一端连通气源,另一端用于与物镜本体的内部腔室连通;供气控制管路包括:设于管路上的热交换器、减压阀、质量流量控制器,其中,热交换器用于对工作气体进行热交换以调节温度;减压阀用于对工作气体的供气压力进行调节;质量流量控制器用于对工作气体的流量进行调节。通过对气源提供的工作气体进行处理,使得提供给物镜本体的内部腔室的工作气体的压力、流量、温度等参数稳定,其结构简单、易操作且便于维护,有效地保障了光刻投影物镜正常工作情况下环境参数稳定,且避免外部环境的污染物进入物镜本体内部以对光学系统造成污染。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种气体供给装置,用于给光刻投影物镜的物镜本体(1)内部腔室提供工作气体,其特征在于,所述气体供给装置包括:气源(2)及供气控制管路,所述供气控制管路的一端连通所述气源(2),另一端用于与所述物镜本体(1)的内部腔室连通;
    所述供气控制管路包括:设于管路上的热交换器、减压阀、质量流量控制器(10),其中,
    所述热交换器用于对所述工作气体进行热交换以调节温度;
    所述减压阀用于对所述工作气体的供气压力进行调节;
    所述质量流量控制器(10)用于对所述工作气体的流量进行调节。

    2.  根据权利要求1所述的气体供给装置,其特征在于,
    所述供气控制管路还包括:设于管路上的过滤器(7),用于对所述工作气体的颗粒度进行过滤控制。

    3.  根据权利要求1所述的气体供给装置,其特征在于,
    所述供气控制管路还包括:设于管路上的纯化器(11),用于对所述工作气体的纯度进行提纯控制。

    4.  根据权利要求1所述的气体供给装置,其特征在于,
    所述供气控制管路还包括:设于管路上的泄压阀(12),用于对所述工作气体提供过压安全?;た刂?。

    5.  根据权利要求1所述的气体供给装置,其特征在于,
    所述供气控制管路还包括:压力传感器,设于所述减压阀的出口侧的管路上,用于测量经所述减压阀调节后的压力值,以根据所述压力值控制所述减压阀。

    6.  根据权利要求5所述的气体供给装置,其特征在于,
    所述减压阀包括一级减压阀(5)和二级减压阀(8),所述一级减压阀(5)的出口侧设有第一压力传感器(6),所述二级减压阀(8)的出口侧设有第二压力传感器(9)。

    7.  根据权利要求1所述的气体供给装置,其特征在于,
    所述热交换器包括初级热交换器(3)和次级热交换器(13),其中,所述初级热交换器(3)用于对所述工作气体进行热交换以粗略调节温度,所述次级热交换器(13)用于对经所述初级热交换器(3)调节后的工作气体进行热交换以精细调节温度。

    8.  根据权利要求1至7任一所述的气体供给装置,其特征在于,
    所述供气控制管路包括依次连接的初级热交换器(3)、隔膜阀(4)、一级减压阀(5)、第一压力传感器(6)、过滤器(7)、二级减压阀(8)、第二压力传感器(9)、质量流量控制器(10)、纯化器(11)、泄压阀(12)、次级热交换器(13),其中,
    所述初级热交换器(3)连通所述气源(2)与所述隔膜阀(4),用于对所述工作气体进行热交换以粗略调节温度;
    所述隔膜阀(4)用于对经过初级热交换的工作气体供给进行控制;
    所述一级减压阀(5)用于对所述工作气体的供气压力进行粗略调节;
    所述第一压力传感器(6)用于对所述一级减压阀(5)调节后的压力进行测量;
    所述过滤器(7)用于对所述工作气体的颗粒度进行过滤控制;
    所述二级减压阀(8)用于对所述工作气体的供气压力进行精细调节;
    所述第二压力传感器(9)用于对所述二级减压阀(8)调节后的压力进行测量;
    所述质量流量控制器(10)用于对所述工作气体的流量进行调节;
    所述纯化器(11)用于对所述工作气体的纯度进行提纯控制;
    所述泄压阀(12)用于对所述工作气体提供过压安全?;た刂?;
    所述次级热交换器(13)的出口连通所述物镜本体(1)的内部腔室,用于对所述工作气体进行热交换以精细调节温度。

    9.  一种光刻投影物镜,其特征在于,包括物镜本体(1),所述物镜本体(1)的内腔连通如权利要求1至8任一所述的气体供给装置。

    10.  根据权利要求9所述的光刻投影物镜,其特征在于,
    所述物镜本体(1)的内腔设有出气口,所述出气口连接限流器(14),用于在保证所述物镜本体(1)内腔的工作气体环境的前提下,对耗气量进行约束控制。

    关 键 词:
    气体 供给 装置 具有 光刻 投影 物镜
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:气体供给装置及具有其的光刻投影物镜.pdf
    链接地址://www.fnjpv.tw/p-6408096.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.fnjpv.tw网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 一切都是老板炒工人的鱿鱼 2019-07-14
  • 赏花不用跑远 宗角禄康开得正艳 2019-07-14
  • 车俊会见毛里求斯代总统 2019-07-14
  • 除了杨崇勇,“2亿元贪官俱乐部”至少还有这些人 2019-07-09
  • [民生热线]咸安西大街烤鸭店每天油烟扰民 区政府:已责令整改 2019-07-09
  • 海淀:得天独厚的自然条件 2019-07-09
  • 进京通行证限次数!70.9万辆本地化使用外埠号牌车或将受影响 2019-07-06
  • 6月14日凤凰直通车:茅台再开市场化招聘大门,32个部门要285人葡萄 种植 2019-07-05
  • 东京湾产业转型启示录 2019-07-05
  • 中国三星获第十二届人民企业社会责任奖年度扶贫奖 2019-06-30
  • 一个语文基础都没有的人就喜欢指手画脚, 2019-06-30
  • 匹夫有责之一百一十二—道义大义的博客—强国博客—人民网 2019-06-25
  • 原来端午节也可以过得很“文艺” 2019-06-10
  • 女性之声——全国妇联 2019-06-10
  • 乌鲁木齐县田园风光醉游人 2019-06-09
  • 胜分差含加时吗 ac米兰 国际米兰 双色球基本走势图表图一 广西快乐双彩中奖查询 青海快3基本走势图 热刺球队 瓦伦西亚主力阵容 天津快乐10分走势 都灵vs恩波利 山东群英会开奖查询走势图