• 忻州 端午节假期旅游收入达59962万元--黄河新闻网 2019-07-22
  • 人民日报为人民,70年办报不容易,办报人付出了心血和汗水,记录了中国的发展过程,祝愿办得越来越好! 2019-07-20
  • 最美逆行!高速隧道突发火灾  交警三次逆行穿火线撤离400多名群众 2019-07-17
  • 《陕西省县域经济社会发展监测考评办法》解读 2019-07-17
  • 一切都是老板炒工人的鱿鱼 2019-07-14
  • 赏花不用跑远 宗角禄康开得正艳 2019-07-14
  • 车俊会见毛里求斯代总统 2019-07-14
  • 除了杨崇勇,“2亿元贪官俱乐部”至少还有这些人 2019-07-09
  • [民生热线]咸安西大街烤鸭店每天油烟扰民 区政府:已责令整改 2019-07-09
  • 海淀:得天独厚的自然条件 2019-07-09
  • 进京通行证限次数!70.9万辆本地化使用外埠号牌车或将受影响 2019-07-06
  • 6月14日凤凰直通车:茅台再开市场化招聘大门,32个部门要285人葡萄 种植 2019-07-05
  • 东京湾产业转型启示录 2019-07-05
  • 中国三星获第十二届人民企业社会责任奖年度扶贫奖 2019-06-30
  • 一个语文基础都没有的人就喜欢指手画脚, 2019-06-30
    • / 20
    • 下载费用:20 金币  

    和值走势图广西11选5: 压印设备和使用该压印设备的物品制造方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510606372.3

    申请日:

    2012.10.15

    公开号:

    CN105137713A

    公开日:

    2015.12.09

    当前法律状态:

    实审

    有效性:

    审中

    法律详情: 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20121015|||公开
    IPC分类号: G03F7/00 主分类号: G03F7/00
    申请人: 佳能株式会社
    发明人: 林达也; 村上洋介; 长谷川敬恭; 鸟居弘稔; 田中悠辅
    地址: 日本东京
    优先权: 2011-226637 2011.10.14 JP; 2012-202990 2012.09.14 JP
    专利代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 代理人: 宋岩
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510606372.3

    授权公告号:

    |||

    法律状态公告日:

    2016.01.06|||2015.12.09

    法律状态类型:

    实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种压印设备和使用该压印设备的物品制造方法。该压印设备将形成在模具上的图案转印到衬底上的树脂。该压印设备包括:形状校正机构,被配置为向该模具施加力从而使形成在该模具上的图案区域变形;加热机构,被配置为加热形成在该衬底上的衬底侧图案区域从而使该衬底侧图案区域变形;和控制单元,被配置为获得关于形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别的信息,并且基于获得的信息控制该形状校正机构和晶片加热机构以便减小形成在该模具上的图案区域和该衬底侧图案区域的形状之间的差别。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种使衬底上的多个衬底侧图案区域上的树脂与模具上的图案区域接触的压印设备,其特征在于,所述压印设备包括:
    第一机构,被配置为向该模具施加力,从而使该图案区域变形;
    第二机构,被配置为通过加热该衬底侧图案区域来将非均匀的温度分布给予该衬底侧图案区域,从而使该衬底侧图案区域变形;和
    控制单元,被配置为获得该图案区域和该衬底侧图案区域之间的形状差别信息,并且基于获得的形状差别信息通过使用该第一机构来控制该图案区域的形状,并且基于获得的形状差别信息通过使用该第二机构来控制该衬底侧图案区域中的温度分布。

    2.  根据权利要求1所述的压印设备,还包括:
    检测单元,被配置为检测形成在该模具上的多个标记和形成在该衬底上的多个标记,
    其中该控制单元基于由该检测单元检测的结果获得该形状差别信息。

    3.  根据权利要求2所述的压印设备,还包括:
    其中该检测单元检测形成在该模具上的至少四个标记和形成在该衬底上的至少四个标记。

    4.  根据权利要求1到3中任一项所述的压印设备,其中该第二机构能够仅仅加热该衬底的部分区域,并且该控制单元基于获得的形状差别信息来确定要由该第二机构加热的区域。

    5.  根据权利要求1所述的压印设备,其中该第二机构包括光源并且通过利用从该光源发射的光照射该衬底来加热该衬底侧图案区域。

    6.  根据权利要求5所述的压印设备,其中该第二机构包括光调整器,该光调整器控制照射到该衬底侧图案区域上的光的光照分布。

    7.  根据权利要求5所述的压印设备,其中该树脂是由紫外光可固化的树脂,并且使用该第二机构照射到该衬底上的光的波长在从400nm到2000nm的范围中。

    8.  根据权利要求1到3及5到7中的任一项所述的压印设备,其中该控制单元在使得该衬底侧图案区域上的树脂与该模具上的图案区域接触的状态下控制该第二机构。

    9.  根据权利要求1到3及5到7中的任一项所述的压印设备,其中在由该第一机构使该模具上形成的图案区域变形之后或在由该第一机构使该模具上形成的图案区域变形期间,该控制单元使得该第二机构使该衬底侧图案区域变形。

    10.  根据权利要求1到3及5到7中的任一项所述的压印设备,其中该控制单元为该多个衬底侧图案区域中的每一个计算由第一机构进行的校正量和由第二机构进行的校正量。

    11.  根据权利要求1到3及5到7中的任一项所述的压印设备,其中该控制单元通过利用该第二机构加热该衬底侧图案区域和该衬底侧图案区域的外侧区域来控制该衬底侧图案区域中的温度分布。

    12.  根据权利要求5所述的压印设备,其中该控制单元控制该第二机构用第一照射剂量的光来照射衬底,然后控制该第二机构用小于第一照射剂量的第二照射剂量的光来照射衬底。

    13.  根据权利要求1所述的压印设备,其中该控制单元基于该形状差别信息来分析包括在该衬底侧图像区域中的变形分量,并且通过 使用与从分析结果获得的每个变形分量对应的校正量来控制该衬底侧图像区域中的温度分布。

    14.  一种用于制造装置的装置制造方法,其特征在于,该方法包括:
    通过使用压印设备使衬底上的多个衬底侧图案区域上的树脂与模具上的图案区域接触并且使树脂固化;以及
    蚀刻其上已经形成树脂图案的所述衬底,
    其中该压印设备包括:
    第一机构,被配置为向该模具施加力,从而使该图案区域变形;
    第二机构,被配置为通过加热该衬底侧图案区域来将非均匀的温度分布给予该衬底侧图案区域,从而使该衬底侧图案区域变形;和
    控制单元,被配置为获得该图案区域和该衬底侧图案区域之间的形状差别信息,并且基于获得的形状差别信息通过使用该第一机构来控制该图像区域的形状,并且基于获得的形状差别信息通过使用该第二机构来控制该衬底侧图案区域中的温度分布。

    15.  一种用于使衬底上的多个衬底侧图案区域上的树脂与模具上的图案区域接触的压印方法,其特征在于,所述方法包括:
    向该模具施加力,从而基于所获得的该图案区域和该衬底侧图案区域之间的形状差别信息来使该图案区域变形;
    加热该衬底侧图案区域并且将非均匀的温度分布施加到该衬底侧图案区域,从而基于所获得的该图案区域和该衬底侧图案区域之间的形状差别信息来使该衬底侧图案区域变形;和
    在使该图案区域和该衬底侧图案区域变形的状态下,固化该衬底侧图案区域上的树脂。

    关 键 词:
    压印 设备 使用 物品 制造 方法
      专利查询网所有资源均是用户自行上传分享,仅供网友学习交流,未经上传用户书面授权,请勿作他用。
    0条评论

    还可以输入200字符

    暂无评论,赶快抢占沙发吧。

    关于本文
    本文标题:压印设备和使用该压印设备的物品制造方法.pdf
    链接地址://www.fnjpv.tw/p-6408236.html
    关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服客服 - 联系我们

    [email protected] 2017-2018 www.fnjpv.tw网站版权所有
    经营许可证编号:粤ICP备17046363号-1 
     


    收起
    展开
  • 忻州 端午节假期旅游收入达59962万元--黄河新闻网 2019-07-22
  • 人民日报为人民,70年办报不容易,办报人付出了心血和汗水,记录了中国的发展过程,祝愿办得越来越好! 2019-07-20
  • 最美逆行!高速隧道突发火灾  交警三次逆行穿火线撤离400多名群众 2019-07-17
  • 《陕西省县域经济社会发展监测考评办法》解读 2019-07-17
  • 一切都是老板炒工人的鱿鱼 2019-07-14
  • 赏花不用跑远 宗角禄康开得正艳 2019-07-14
  • 车俊会见毛里求斯代总统 2019-07-14
  • 除了杨崇勇,“2亿元贪官俱乐部”至少还有这些人 2019-07-09
  • [民生热线]咸安西大街烤鸭店每天油烟扰民 区政府:已责令整改 2019-07-09
  • 海淀:得天独厚的自然条件 2019-07-09
  • 进京通行证限次数!70.9万辆本地化使用外埠号牌车或将受影响 2019-07-06
  • 6月14日凤凰直通车:茅台再开市场化招聘大门,32个部门要285人葡萄 种植 2019-07-05
  • 东京湾产业转型启示录 2019-07-05
  • 中国三星获第十二届人民企业社会责任奖年度扶贫奖 2019-06-30
  • 一个语文基础都没有的人就喜欢指手画脚, 2019-06-30
  • 河北快三规律 阿拉维斯官方网站 巴西狂欢彩金 庆南fcvs山东鲁能推荐 西班牙人对阿拉维斯现场直播 披萨塔免费试玩 快乐十分钟 宜兴麻将技巧 塔什干棉农对巴格达空军 湖南快乐十分走势图表