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    广西11选5开奖结果查询: 金锗合金溅射靶材及其制备方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201510568296.1

    申请日:

    2015.09.08

    公开号:

    CN105132873A

    公开日:

    2015.12.09

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20150908|||公开
    IPC分类号: C23C14/34; C22C5/02; C22C1/02; C22F1/14 主分类号: C23C14/34
    申请人: 有研亿金新材料有限公司
    发明人: 张涛; 李勇军; 王兴权; 万小勇; 张巧霞; 陈明; 贾存锋; 曾浩; 王越
    地址: 102200北京市昌平区超前路33号
    优先权:
    专利代理机构: 北京北新智诚知识产权代理有限公司11100 代理人: 刘茵
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201510568296.1

    授权公告号:

    ||||||

    法律状态公告日:

    2018.04.10|||2016.01.06|||2015.12.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种金锗合金溅射靶材及其制备方法,该方法包括如下步骤:1.以金、锗金属为原料,利用真空感应熔炼和真空铸造获得共晶或亚共晶成分的金锗合金铸锭;其中,合金铸锭中锗含量为2wt.%~12.5wt.%,余量为金;2.利用加热炉对步骤1获得的合金铸锭进行均匀化热处理;均匀化热处理温度为270~340℃,时间为50~65min;3.利用塑性加工设备将铸锭沿厚度方向进行热塑性加工;4.每完成1~2道次加工将坯料于加热炉进行回火热处理,温度为270~340℃,时间为10~30min;5.重复3、4步骤,直到所需的靶坯尺寸。通过此种方法获得的金锗合金溅射靶材成分均匀,显微组织主要由Au的固熔体和弥散分布的块状Ge相组成。

    权利要求书

    权利要求书
    1.  一种金锗合金溅射靶材的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
    (1)以金、锗金属为原料,利用真空感应熔炼和真空铸造获得共晶成分或亚共晶成分的金锗合金铸锭;其中,原料中锗含量为2wt.%~12.5wt.%,余量为金;
    (2)利用加热炉对步骤(1)获得的合金铸锭进行均匀化热处理;均匀化热处理温度为270~340℃,时间为50~65min;
    (3)利用塑性加工设备将铸锭进行热塑性加工,实现厚度减??;
    (4)每完成1~2道次加工将坯料于加热炉进行回火热处理,回火热处理温度为270~340℃,时间为10~30min;
    (5)重复(3)、(4)步骤,直到所需的靶坯尺寸。

    2.  如权利要求1所述的金锗合金溅射靶材制备方法,其特征在于,所述步骤(1)配料时按合金名义成分多配0.1~0.5wt.%的锗。

    3.  如权利要求2所述的金锗合金溅射靶材制备方法,其特征在于,所述步骤(1)真空感应熔炼的真空度保持在×10-1~×10-2Pa;真空感应熔炼温度为合金熔点以上150~200℃,熔炼时间10~30min;浇注温度为合金熔点以上100~150℃。

    4.  如权利要求3所述的金锗合金溅射靶材制备方法,其特征在于,所述步骤(1)的真空感应熔炼步骤包括:
    I.真空度保持在×10-1~×10-2Pa,将原材料加热至熔点,待全部熔化后将熔体升温至熔点以上150~200℃,并保温10~30min;
    II.步骤I完成后停止加热,熔体开始凝固,同时除气10~20min;
    III.凝固除气后重复步骤I,获得的熔体进行接下来的浇注步骤。

    5.  如权利要求1所述的金锗合金溅射靶材制备方法,其特征在于,所述步骤(3)热轧道次变形率3~8%,完成步骤(5)后的总变形量为25~75%。

    6.  如权利要求1所述的金锗合金溅射靶材制备方法,其特征在于,所述步骤(5)获得的轧坯尺寸为(160~260)×(160~260)×(3~10)mm。

    7.  如权利要求1-6中任一项所述的金锗合金溅射靶材制备方法,其特征在于,所述方法还包括,将步骤(5)获得的轧坯在280~330℃条件下退火45~60min消除塑性加工应力。

    8.  一种金锗合金溅射靶材的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
    (1)以金、锗金属为原料,利用真空感应熔炼和真空铸造获得共晶或亚共晶成分的金锗合金铸锭;其中,原料中锗含量为2wt.%~12.5wt.%,按合金名义成分多配0.1~0.5wt.%的锗,余量为金;
    真空感应熔炼步骤包括:
    I.真空度保持在×10-1~×10-2Pa,将原材料加热至熔点,待全部熔化后将熔体升温至熔点以上150~200℃,并保温10~30min;
    II.步骤I完成后停止加热,熔体开始凝固,同时除气10~20min;
    III.凝固除气后重复步骤I,获得的熔体进行接下来的浇注步骤;
    浇注温度为合金熔点以上100~150℃,获得合金铸锭;
    (2)利用加热炉对步骤(1)获得的合金铸锭进行均匀化热处理;均匀化热处理温度为270~340℃,时间为50~65min;
    (3)利用塑性加工设备将铸锭进行热塑性加工,实现厚度减薄,热轧道次变形率3~8%;
    (4)每完成1~2道次加工将坯料于加热炉进行回火热处理,回火热处理温度为270~340℃,时间为10~30min;
    (5)重复(3)、(4)步骤,直到所需的靶坯尺寸;获得的轧坯尺寸为(160~260)×(160~260)×(3~10)mm;总变形量为25~75%。
    (6)将步骤(5)获得的轧坯在280~330℃条件下退火45~60min消除塑性加工应力。

    9.  一种金锗合金溅射靶材,其特征在于,其是采用权利要求1-8中任一项所述的方法制备的。

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    合金 溅射 及其 制备 方法
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