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    广西11选5一天开几期: 一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201110056408.7

    申请日:

    2011.03.09

    公开号:

    CN102179000B

    公开日:

    2014.09.24

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):A61N 1/05申请日:20110309|||公开
    IPC分类号: A61N1/05 主分类号: A61N1/05
    申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
    发明人: 李刚; 朱壮晖; 周亮; 赵建龙
    地址: 200050 上海市长宁区长宁路865号
    优先权:
    专利代理机构: 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人: 潘振甦
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201110056408.7

    授权公告号:

    102179000B||||||

    法律状态公告日:

    2014.09.24|||2011.11.02|||2011.09.14

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明公开了一种基于碳膜的柔性神经微电极及其制作方法,该方法利用热解图形化光刻胶形成的碳膜作为导电层,结合聚合物包覆形成绝缘层制作柔性神经微电极。相比传统的基于贵金属(如铂、金、铱等)的柔性神经微电极,基于碳膜的柔性神经微电极具有更好的电化学稳定性和生物相容性,且易于通过光刻和微纳压印等手段制作三维高比表面积的电极位点,可大大提高电极的电荷注入能力和生物安全性,有助于实现植入式神经微电极的长期安全、有效、可靠和高分辨率的刺激效果。且该电极制作方法与基于金属的微电极制作方法相比,具有工艺简单、成本低、可重复性强,设计灵活的优势。

    权利要求书

    1: 一种基于碳膜的柔性神经微电极, 其特征在于 : 所述的柔性神经微电极以碳膜作为 导电材料, 以聚合物作为基底材料和绝缘材料。
    2: 根据权利要求 1 所述的柔性神经微电极, 其特征在于 : 所述碳膜导电材料为图形化 光刻胶经热解形成。
    3: 根据权利要求 1 所述的柔性神经微电极, 其特征在于 : 所述聚合物基底材料和绝缘 材料为聚酰亚胺、 SU-8 和聚甲基丙烯酸甲酯中的一种。
    4: 制作根据权利要求 1、 2 或 3 所述的柔性神经微电极的方法, 其特征在于所述的制作 方法包括以下各步 : 1) 在洁净的硅片表面制作 SiO2 牺牲层 ; 2) 在含有 SiO2 牺牲层的硅片表面旋涂光刻胶, 并通过光刻图形化形成电极位点、 连接 线和焊接点等结构 ; 3) 将图形化的光刻胶置于高温环境下进行热解, 形成碳膜 ; 4) 在热解后的碳膜表面旋涂光敏性聚合物, 通过光刻制作上绝缘层 ; 5) 腐蚀 SiO2 牺牲层释放结合上绝缘层的碳膜 ; 6) 将释放的碳膜和上绝缘层贴附在 PDMS 片上, 然后转移至旋涂有光敏性聚合物的氧 化硅片上, 通过对平整的 PDMS 施加压力并加热, 完成键合 ; 7) 将键合后的下层光敏性聚合物进行对准光刻, 完成电极下绝缘层的图形化 ; 8) 腐蚀 SiO2 牺牲层释放微电极整体结构。
    5: 根据权利要求 4 所述的方法, 其特征在于所述 SiO2 牺牲层是通过干氧热氧化生成或 通过气相沉积生成。
    6: 根据权利要求 4 所述的方法, 其特征在于所述光刻胶是正性光刻胶或负性光刻胶。
    7: 根据权利要求 4 所述的方法, 其特征在于所述热解过程的升温速率小于 10℃ /min, 降温速率小于 5℃ /min。
    8: 根据权利要求 4 所述的方法, 其特征在于所述热解过程的升温和降温阶段须充入惰 性气体, 高温平台阶段须充入惰性气体和氢气的混合气体, 其 中惰性气体为氮气或氩气, 混合气体中氢气的体积的含量为 5%。
    9: 根据权利要求 4 所述的方法, 其特征在于所述上绝缘层和下绝缘层为同类聚合物。
    10: 根据权利要求 9 所述的方法, 其特征在于上绝缘层从上表面及绝缘覆盖碳膜导电 层结构, 仅暴露碳膜电极位点和焊接点部位, 而下绝缘层则下表面绝缘覆盖碳膜导电层全 部结构。

    关 键 词:
    一种 基于 柔性 神经 微电极 及其 制作方法
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