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    全友物流广西11选5: 一种具有光栅结构的边发射半导体激光器.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201210060694.9

    申请日:

    2012.03.09

    公开号:

    CN102545052B

    公开日:

    2014.11.26

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效号牌文件类型代码:1604号牌文件序号:101322513435IPC(主分类):H01S 5/22专利申请号:2012100606949申请日:20120309|||公开
    IPC分类号: H01S5/22 主分类号: H01S5/22
    申请人: 北京工业大学
    发明人: 崔碧峰; 计伟; 陈京湘; 郭伟玲; 张松; 王晓玲
    地址: 100124 北京市朝阳区平乐园100号
    优先权:
    专利代理机构: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 刘萍
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201210060694.9

    授权公告号:

    102545052B||||||

    法律状态公告日:

    2014.11.26|||2012.09.05|||2012.07.04

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    一种具有光栅结构的边发射半导体激光器,属于半导体光电子技术领域。包括衬底、N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型欧姆接触层构成的半导体激光器外延结构;同时包括了二氧化硅绝缘层、上层P型电极、下层N型电极,其中光栅结构生长在脊形台上,制作过程采用光刻工艺;划片后,将芯片烧结在铜热沉上,封装固定在散热基座上。此结构中脊形台上光栅结构的引入抑制了注入到有源层载流子的侧向扩散,提高有源区载流子分布的均匀性,从而降低半导体激光器的阈值电流。本发明制作工艺简单、成本低、重复性好。

    权利要求书

    1.一种具有光栅结构的边发射半导体激光器,其特征在于:依次包括衬底、
    N型限制层、N型波导层、多量子阱有源区、P型波导层、P型限制层、P型
    欧姆接触层构成的外延片结构;且利用湿法腐蚀将外延片两侧腐蚀P型欧姆
    接触层到P型限制层,深度范围为:400nm-600nm,从而形成脊形台,在脊
    形台上腐蚀出具有周期性的光栅结构。

    关 键 词:
    一种 具有 光栅 结构 发射 半导体激光器
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