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    广西11选5开奖5结果: 移动体驱动系统及方法、图案形成装置及方法、曝光装置及方法、组件制造方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN200780009923.1

    申请日:

    2007.08.31

    公开号:

    CN101405839B

    公开日:

    2014.12.24

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情: 授权|||实质审查的生效|||公开
    IPC分类号: H01L21/027; G01B11/00; G01B11/26; G03F7/20 主分类号: H01L21/027
    申请人: 株式会社尼康
    发明人: 柴崎祐一
    地址: 日本东京
    优先权: 2006.08.31 JP 236783/2006
    专利代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 吴丽丽
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN200780009923.1

    授权公告号:

    101405839B||||||

    法律状态公告日:

    2014.12.24|||2009.06.03|||2009.04.08

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    通过驱动装置,根据用于测量晶片台WTB在Y轴方向位置信息的编码器(64)的测量值、与该测量时以干涉仪(16,43A及43B)所测量的晶片台WTB在非测量方向(例如,Z、及θz及θx方向)的位置信息所对应的已知修正信息,将晶片台WTB驱动于Y轴方向。也即,根据用于修正因读头往非测量方向与标尺的相对位移引起的编码器测量误差的修正信息修正后的编码器测量值,将移动体驱动于Y轴方向。因此,能在不受读头与标尺间的要测量方向(测量方向)以外的相对运动影响的情形下,一边以编码器测量位置、一边以良好精度将晶片台WTB(移动体)驱动于所希望的方向。

    权利要求书

    权利要求书
    1、  一种实质上沿规定平面驱动移动体的移动体驱动系统,其特征在于包括:
    编码器,具备向具有把与上述规定平面平行的规定方向作为周期方向的栅格的标尺照射检测光并接收来自上述标尺的反射光的读头,测量上述移动体在上述规定方向的位置信息;以及
    驱动装置,基于上述编码器的测量值、以及相应于该测量时的上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息的修正信息,将上述移动体驱动于上述规定方向。

    2、  根据权利要求1所述的移动体驱动系统,其特征在于:
    上述标尺配置在与上述规定平面实质上平行的上述移动体的一面,上述读头配置在上述移动体的外部而能与上述标尺对向。

    3、  根据权利要求1或2所述的移动体驱动系统,其特征在于:
    上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息,包含涉及上述移动体在与上述规定平面正交的方向,以及在与上述规定平面平行的面内的旋转方向及与上述规定平面平行的面内、绕与上述规定方向正交的方向的轴旋转方向中的至少一个方向的位置信息。

    4、  根据权利要求1至3中的任一所述的移动体驱动系统,其特征在于还包括:
    储存有上述修正信息的记忆装置,
    上述驱动装置,在使用上述编码器测量上述移动体在上述规定方向的位置信息时,根据上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息与储存于上述记忆装置的信息,求出对应上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息的上述修正信息。

    5、  根据权利要求4所述的移动体驱动系统,其特征在于:
    上述编码器设有多个,
    在上述记忆装置中,针对每个编码器储存上述修正信息,
    上述驱动装置,基于上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息、与储存于上述记忆装置的信息,针对各编码器求出对应上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息的修正信息。

    6、  根据权利要求1至5中的任一所述的移动体驱动系统,其特征在于:
    作为上述标尺,设有:
    第1标尺,具有把与上述规定平面平行的面内的第1方向作为周期方向的栅格;以及
    第2标尺,具有把与上述规定平面平行的面内的第1方向交叉的第2方向作为周期方向的栅格;
    作为上述编码器,包含:
    多个第1编码器,在上述第2方向的不同位置配置多个第1读头,且通过与上述第1标尺对向的上述多个第1读头的至少1个,测量上述移动体在上述第1方向的位置信息;以及
    多个第2编码器,在上述第1方向的不同位置配置多个第2读头,且通过与上述第2标尺对向的上述多个第2读头的至少1个,测量上述移动体在上述第2方向的位置信息。

    7、  根据权利要求1至6中的任一所述的移动体驱动系统,其特征在于还包括:
    测量装置,测量上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息。

    8、  根据权利要求7所述的移动体驱动系统,其特征在于:
    上述测量装置,包含对设在上述移动体的至少1个反射面照射1或2以上的测长光束,来测量上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息的干涉仪。

    9、  根据权利要求7或8所述的移动体驱动系统,其特征在于还包括:
    控制装置,使上述移动体变化為不同的多姿势,针对各姿势,根据上述测量装置的测量结果在维持上述移动体的姿势的状态下,一边从作为对象的编码器的读头对对应的标尺的特定区域照射检测光、一边使上述移动体以规定行程范围移动于与上述规定平面正交的方向,在上述移动中对上述编码器的测量结果进行取样,根据上述取样结果进行规定运算,以求出作为对象的编码器的修正信息。

    10、  根据权利要求9所述的移动体驱动系统,其特征在于:
    上述控制装置,把与同一标尺对应的多个编码器作为对象,在求取上述修正信息时,考虑作为对象的编码器读头的倾倒所产生的几何性误差,求出作为上述对象的编码器的修正信息。

    11、  一种图案形成装置,其特征在于包括:
    移动体,装载物体、能保持上述物体实质上沿移动面移动;
    图案化装置,用在上述物体上形成图案;以及
    为了在上述物体上形成图案,驱动上述移动体的权利要求1至10中的任一所述的移动体驱动系统。

    12、  一种通过能量束的照射在物体上形成图案的曝光装置,其特征在于包括:
    图案化装置,对上述物体照射能量束;以及
    权利要求1至10中的任一所述的移动体驱动系统,
    为进行上述能量束与上述物体的相对移动,用上述移动体驱动系统进行装载上述物体的移动体的驱动。

    13、  一种用能量束使物体曝光的曝光装置,其特征在于包括:
    移动体,保持上述物体,能至少在规定平面内正交的第1及第2方向移动;
    编码器系统,在保持上述物体的上述移动体的一面设有栅格部与读头单元的一方,且另一方与上述移动体的一面对向设置,以测量上述移动体在上述第1及第2方向的至少一方的位置信息;以及
    驱动装置,基于编码器系统的测量信息、与上述移动体在与上述第1及第2方向不同方向的位置信息,在上述规定平面内驱动上述移动体。

    14、  根据权利要求13所述的曝光装置,其特征在于:
    驱动上述移动体,以便补偿因上述移动体向上述不同方向的位移所产生的上述编码器系统的测量误差。

    15、  根据权利要求14所述的曝光装置,其特征在于:
    基于上述移动体在上述不同方向的位置信息,求出用于补偿驱动上述移动体所使用的上述测量误差的修正信息。

    16、  根据权利要求14或15所述的曝光装置,其特征在于:
    基于上述移动体在上述不同方向的位置信息,修正上述编码器系统的测量信息或定位上述移动体的目标位置。

    17、  根据权利要求13至16中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    上述物体经由掩膜用上述能量束曝光,在上述曝光时,一边基于上述编码器系统的测量信息驱动上述移动体、一边移动上述掩膜以补偿因上述移动体向上述不同方向的位移所产生的上述编码器系统的测量误差。

    18、  根据权利要求13至17中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    上述不同方向包含与上述规定平面正交的方向、绕与上述规定平面正交的轴的旋转方向、以及绕与上述规定平面平行的轴的旋转方向的至少一个。

    19、  根据权利要求13至18中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    上述移动体在上述不同方向为可动,
    还具备:
    测量上述移动体在上述不同方向的位置信息的测量装置。

    20、  一种用能量束使物体曝光的曝光装置,其特征在于包括:
    移动体,保持上述物体,能至少在规定平面内正交的第1及第2方向移动,且相对上述规定平面倾斜;
    编码器系统,在保持上述物体的上述移动体的一面设有栅格部与读头单元的一方,且另一方与上述移动体的一面对向设置,以测量上述移动体在上述第1及第2方向的至少一方的位置信息;以及
    驱动装置,基于上述编码器系统的测量信息、与上述移动体的倾斜信息,在上述规定平面内驱动上述移动体。

    21、  根据权利要求20所述的曝光装置,其特征在于:
    驱动上述移动体,以补偿因上述移动体的倾斜所产生的上述编码器系统的测量误差。

    22、  根据权利要求21所述的曝光装置,其特征在于:
    基于上述移动体的倾斜信息,求出用于补偿驱动上述移动体所使用的上述测量误差的修正信息。

    23、  根据权利要求21或22所述的曝光装置,其特征在于:
    基于上述移动体的倾斜信息,修正上述编码器系统的测量信息或定位上述移动体的目标位置。

    24、  根据权利要求20至23中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    上述物体经由掩膜用上述能量束曝光,在上述曝光时,一边根据上述编码器系统的测量信息驱动上述移动体、一边移动上述掩膜以补偿因上述移动体的倾斜所产生的上述编码器系统的测量误差。

    25、  根据权利要求13至24中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    基于成为上述编码器系统的测量误差的产生原因的上述读头单元的特性信息,驱动上述移动体。

    26、  一种用能量束使物体曝光的曝光装置,其特征在于包括:
    移动体,保持上述物体,能至少在规定平面内正交的第1及第2方向移动;
    编码器系统,在保持上述物体的上述移动体的一面设有栅格部与读头单元的一方,且另一方与上述移动体的一面对向设置,以测量上述移动体在上述第1及第2方向的至少一方的位置信息;以及
    驱动装置,基于编码器系统的测量信息、与成为上述编码器系统的测量误差的产生原因的上述读头单元的特性信息,在上述规定平面内驱动上述移动体。

    27、  根据权利要求25或26所述的曝光装置,其特征在于:
    上述特性信息包含上述读头单元的光学特性。

    28、  根据权利要求25至27中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    基于读头单元的特性信息,求出用于补偿驱动上述移动体所使用的上述测量误差的修正信息。

    29、  根据权利要求28所述的曝光装置,其特征在于:
    基于上述读头单元的特性信息,修正上述编码器系统的测量信息或定位上述移动体的目标位置。

    30、  根据权利要求13至29中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    驱动上述移动体,以补偿因上述读头单元所产生的上述编码器系统的测量误差。

    31、  一种用能量束使物体曝光的曝光装置,其特征在于包括:
    移动体,保持上述物体,能至少在规定平面内正交的第1及第2方向移动;
    编码器系统,在保持上述物体的上述移动体的一面设有栅格部与读头单元的一方,且另一方与上述移动体的一面对向设置,来测量上述移动体在上述第1及第2方向的至少一方的位置信息;以及
    驱动装置,基于编码器系统的测量信息,在上述规定平面内驱动上述移动体,以补偿因上述读头单元所产生的上述编码器系统的测量误差。

    32、  根据权利要求25至31中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    上述物体经由掩膜用上述能量束曝光,在上述曝光时,一边基于上述编码器系统的测量信息驱动上述移动体、一边移动上述掩膜以补偿因上述读头单元所产生的上述编码器系统的测量误差。

    33、  根据权利要求13至32中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    上述栅格部以上述第1方向为长边方向延伸设置,上述读头单元具有在上述第2方向配置于不同位置的多个读头,上述编码器系统通过上述多个读头中与上述栅格部相对向的读头测量上述移动体的位置信息。

    34、  根据权利要求13至33中的任一所述的曝光装置,其特征在于:
    上述栅格部设于上述移动体的一面,上述读头单元则与上述移动体的一面对向设置。

    35、  根据权利要求13至34中的任一所述的曝光装置,其特征在于还包括:
    测量系统,通过与上述读头单元配置于相同侧的多个传感器中与上述栅格部相对向的传感器,测量上述移动体在与上述规定平面正交的第3方向的位置信息,
    根据上述测量系统的测量信息,控制上述移动体在上述第3方向的位置。

    36、  根据权利要求35所述的曝光装置,其特征在于:
    上述测量系统通过与上述栅格部对向的多个传感器来测量上述移动体在第3方向的位置信息、及倾斜信息。

    37、  根据权利要求35或36所述的曝光装置,其特征在于:
    上述移动体的6自由度方向的位置信息中,包含上述第1方向、上述第2方向、及上述规定平面内的旋转方向的3自由度方向的位置信息用上述编码器系统测量,其余3自由度方向的位置信息则用上述测量系统测量。

    38、  根据权利要求37所述的曝光装置,其特征在于:
    基于所测量的6自由度方向的位置信息,至少控制上述移动体在曝光动作中的位置。

    39、  根据权利要求35至38中的任一所述的曝光装置,其特征在于还包括:
    测量上述物体在上述第3方向的位置信息的位置测量装置,
    在上述物体的面位置信息的测量动作中使用上述编码器系统、上述测量系统以及上述位置测量装置。

    40、  根据权利要求35至39中的任一所述的曝光装置,其特征在于还包括:
    检测上述物体的标记的标记检测系统,
    在上述标记的检测动作中使用上述编码器系统与上述标记检测系统。

    41、  根据权利要求13至40中的任一所述的曝光装置,其特征在于还包括:
    测量上述物体在至少上述第1及第2方向的位置信息的干涉仪系统,
    为了驱动上述移动体,在曝光动作中使用上述编码器系统的测量信息,在不同于上述曝光动作的动作中则使用上述干涉仪系统的测量信息。

    42、  根据权利要求41所述的曝光装置,其特征在于:
    在上述物体的标记及/或面位置信息的检测动作中使用上述编码器系统的测量信息。

    43、  根据权利要求41或42所述的曝光装置,其特征在于:
    上述干涉仪系统测量信息的至少一部分使用于上述曝光动作中。

    44、  一种实质上沿规定平面驱动移动体的移动体驱动方法,其特征在于包括:
    使用具备向具有把与上述规定平面平行的规定方向作为周期方向的栅格的标尺照射检测光并接收来自上述标尺的反射光的读头的编码器测量上述移动体在上述规定方向的位置信息,基于上述编码器的测量值、以及相應於该测量时的上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息的修正信息,将上述移动体驱动于上述规定方向的步骤。

    45、  根据权利要求44所述的移动体驱动方法,其特征在于:
    上述标尺配置在与上述规定平面实质上平行的上述移动体的一面,上述读头与上述标尺对向配置在上述移动体的外部。

    46、  根据权利要求44或45所述的移动体驱动方法,其特征在于:
    上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息包含涉及上述移动体在与上述规定平面正交的方向,以及在与上述规定平面平行的面内的旋转方向及与上述规定平面平行的面内、绕与上述规定方向正交的方向的轴旋转方向中的至少一个方向的位置信息。

    47、  根据权利要求44至46中的任一所述的移动体驱动方法,其特征在于:
    在使用多个上述编码器驱动上述移动体时,上述驱动步骤,基于上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息,针对各编码器求出对应于上述移动体在与上述规定方向不同方向的位置信息的修正信息,基于分别使用上述修正信息修正各上述编码器的测量值后的结果,驱动上述移动体。

    48、  根据权利要求44至47中的任一所述的移动体驱动方法,其特征在于:
    作为上述标尺,设有:
    第1标尺,具有把与上述规定平面平行的面内的第1方向作为周期方向的栅格;以及
    第2标尺,具与上述规定平面平行的面内的第1方向交叉的第2方向为周期方向的栅格,
    作为上述编码器,包含:
    多个第1编码器,在上述第2方向的不同位置配置多个第1读头,且通过与上述第1标尺对向的上述多个第1读头的至少1个,测量上述移动体在上述第1方向的位置信息;以及
    多个第2编码器,在上述第1方向的不同位置配置多个第2读头,且通过与上述第2标尺对向的上述多个第2读头的至少1个,测量上述移动体在上述第2方向的位置信息。

    49、  根据权利要求48所述的移动体驱动方法,其特征在于:
    上述第1、第2标尺配置在与上述规定平面实质上平行的上述移动体的一面,上述第1、第2读头则与上述标尺对向配置在上述移动体外部。

    50、  根据权利要求44至49中的任一所述的移动体驱动方法,其特征在于还包括:
    在上述驱动步骤之前,使上述移动体变化为不同的多姿势,针对各姿势,在维持上述移动体的姿势的状态下,一边从作为对象的读头对上述标尺的特定区域照射检测光、一边使上述移动体在与上述规定平面正交方向以规定行程范围移动,在上述移动中对上述编码器测量结果进行取样,根据上述取样结果进行规定运算,求取上述对象编码器的修正信息的步骤。

    51、  根据权利要求50所述的移动体驱动方法,其特征在于:
    在上述求取修正信息的步骤中,把与同一标尺对应的多个编码器作为对象,在求取上述修正信息时,考虑作为对象的编码器读头的倾倒所产生的几何性误差,求出作为上述对象的编码器的修正信息。

    52、  一种图案形成方法,其特征在于包括:
    将物体装载于能在移动面内移动的移动体上的步骤;以及
    为了对上述物体形成图案,使用权利要求44至51中的任一所述的移动体驱动方法,来驱动上述移动体的步骤。

    53、  一种包含图案形成步骤的组件制造方法,其特征在于:
    上述图案形成步骤,使用权利要求52的图案形成方法在基板上形成图案。

    54、  一种通过能量束的照射在物体上形成图案的曝光方法,其特征在于:
    为了进行上述能量束与上述物体的相对移动,使用权利要求44至51中的任一所述的移动体驱动方法,驱动装载上述物体的移动体。

    55、  一种用能量束使物体曝光的曝光方法,其特征在于:
    将物体装载于至少能在规定平面内正交的第1及第2方向移动的移动体;
    基于在装载上述物体的上述移动体的一面设有栅格部与读头单元的一方,且另一方与上述移动体的一面对向设置,以测量上述移动体在上述第1及第2方向的至少一方的位置信息的编码器系统的测量信息与关于上述移动体在与上述第1及第2方向不同方向的位置信息,在上述规定平面内驱动上述移动体。

    56、  根据权利要求55所述的曝光方法,其特征在于:
    驱动上述移动体,以补偿因上述移动体向上述不同方向的位移所产生的上述编码器系统的测量误差。

    57、  根据权利要求56所述的曝光方法,其特征在于:
    基于上述移动体在上述不同方向的位置信息,求出用于补偿驱动上述移动体所使用的上述测量误差的修正信息。

    58、  根据权利要求56或57所述的曝光方法,其特征在于:
    基于上述移动体在上述不同方向的位置信息,修正上述编码器系统的测量信息或定位上述移动体的目标位置。

    59、  根据权利要求55至58中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    上述物体经由掩膜用上述能量束曝光,在上述曝光时,一边基于上述编码器系统的测量信息驱动上述移动体、一边移动上述掩膜以补偿因上述移动体向上述不同方向的位移所产生的上述编码器系统的测量误差。

    60、  根据权利要求55至59中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    上述不同方向包含与上述规定平面正交的方向、绕与上述规定平面正交的轴的旋转方向、以及绕与上述规定平面平形行的轴的旋转方向中的至少一个。

    61、  根据权利要求55至60中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    上述移动体在上述不同方向为可动,
    还包括:
    利用测量装置测量上述移动体在上述不同方向的位置信息的步骤。

    62、  一种用能量束使物体曝光的曝光方法,其特征在于:
    将物体装载于能至少在规定平面内正交的第1及第2方向移动、且相对上述规定平面倾斜的移动体,
    基于编码器系统的测量信息与上述移动体的倾斜信息,在上述规定平面内驱动上述移动体,上述编码器系统在装载上述物体的上述移动体的一面设有栅格部与读头单元的一方,且另一方与上述移动体的一面对向设置,以测量上述移动体在上述第1及第2方向的至少一方的位置信息。

    63、  根据权利要求62所述的曝光方法,其特征在于:
    驱动上述移动体,以补偿因上述移动体的倾斜所产生的上述编码器系统的测量误差。

    64、  根据权利要求63所述的曝光方法,其特征在于:
    基于上述移动体的倾斜信息,求出用于补偿驱动上述移动体所使用的上述测量误差的修正信息。

    65、  根据权利要求63或64所述的曝光方法,其特征在于:
    基于上述移动体的倾斜信息,修正上述编码器系统的测量信息或定位上述移动体的目标位置。

    66、  根据权利要求62至65中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    上述物体经由掩膜用上述能量束曝光,在上述曝光时,以一边基于上述编码器系统的测量信息驱动上述移动体、一边移动上述掩膜以补偿因上述移动体的倾斜所产生的上述编码器系统的测量误差。

    67、  根据权利要求55至66中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    基于成为上述编码器系统的测量误差的产生原因的上述读头单元的特性信息,驱动上述移动体。

    68、  一种用能量束使物体曝光的曝光方法,其特征在于:
    将物体装载于能至少在规定平面内正交的第1及第2方向移动的移动体;
    根据编码器系统的测量信息与上述编码器系统测量误差产生原因的上述读头单元的特性信息,在上述规定平面内驱动上述移动体,上述编码器系统在装载上述物体的上述移动体的一面设有栅格部与读头单元的一方,且另一方与上述移动体的一面对向设置,测量上述移动体在上述第1及第2方向的至少一方的位置信息。

    69、  根据权利要求67或68所述的曝光方法,其特征在于:
    上述特性信息包含上述读头单元的光学特性。

    70、  根据权利要求67至69中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    基于上述读头单元的特性信息,求出用于补偿驱动上述移动体所使用的上述测量误差的修正信息。

    71、  根据权利要求70所述的曝光方法,其特征在于:
    基于上述读头单元的特性信息,修正上述编码器系统的测量信息或定位上述移动体的目标位置。

    72、  根据权利要求55至71中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    驱动上述移动体,以补偿因上述读头单元所产生的上述编码器系统的测量误差。

    73、  一种以能量束使物体曝光的曝光方法,其特征在于:
    将物体装载于能至少在规定平面内正交的第1及第2方向移动的移动体;
    基于编码器系统的测量信息,在上述规定平面内驱动上述移动体,以补偿因上述读头单元所产生的上述编码器系统的测量误差性信息,上述编码器系统在装载上述物体的上述移动体的一面设有栅格部与读头单元的一方,且另一方与上述移动体的一面对向设置,以测量上述移动体在上述第1及第2方向的至少一方的位置信息。

    74、  根据权利要求67至73中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    上述物体经由掩膜用上述能量束曝光,在上述曝光时,一边基于上述编码器系统的测量信息驱动上述移动体、一边移动上述掩膜以补偿因上述读头单元所产生的上述编码器系统的测量误差。

    75、  根据权利要求55至74中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    上述栅格部以上述第1方向为长边方向延伸设置,上述读头单元具有在上述第2方向配置于不同位置的多个读头,上述编码器系统通过上述多个读头中与上述栅格部相对向的读头测量上述移动体的位置信息。

    76、  根据权利要求55至75中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    上述栅格部设于上述移动体的一面,上述读头单元则与上述移动体的一面对向设置。

    77、  根据权利要求55至76中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    进一步使用通过与上述读头单元配置于相同侧的多个传感器中与上述栅格部相对向的传感器,测量上述移动体在与上述规定平面正交的第3方向的位置信息的测量系统,基于上述测量系统的测量信息,控制上述移动体于上述第3方向的位置

    78、  根据权利要求77所述的曝光方法,其特征在于:
    上述测量系统通过与上述栅格部对向的多个传感器来测量上述移动体在第3方向的位置信息、及倾斜信息。

    79、  根据权利要求77或78所述的曝光方法,其特征在于:
    上述移动体的6自由度方向的位置信息中,包含上述第1方向、上述第2方向、及上述规定平面内的旋转方向的3自由度方向的位置信息用上述编码器系统测量,其余3自由度方向的位置信息则用上述测量系统测量。

    80、  根据权利要求79所述的曝光方法,其特征在于:
    基于所测量的6自由度方向的位置信息,至少控制上述移动体在曝光动作的位置。

    81、  根据权利要求77至80中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    在上述物体的面位置信息的测量动作中除上述编码器系统及上述测量系统外,进一步使用测量上述物体在上述第3方向的位置信息的位置测量装置。

    82、  根据权利要求77至81中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    在上述标记的检测动作中,使用上述编码器系统与检测上述物体的标记的标记检测系统。

    83、  根据权利要求55至82中的任一所述的曝光方法,其特征在于:
    为了驱动上述移动体,在曝光动作中使用上述编码器系统的测量信息,在不同于上述曝光动作的动作中则使用测量上述移动体在至少上述第1及第2方向的位置信息的干涉仪系统的测量信息。

    84、  根据权利要求83所述的曝光方法,其特征在于:
    在上述物体的标记及/或面位置信息的检测动作中使用上述编码器系统的测量信息。

    85、  根据权利要求83或84所述的曝光方法,其特征在于:
    上述干涉仪系统测量信息的至少一部分用于上述曝光动作中。

    86、  一种包含光刻步骤的组件制造方法,其特征在于:
    上述光刻步骤,使用权利要求55至85中的任一所述的曝光方法使感应物体曝光,以将图案形成在上述感应物体上。

    87、  一种决定编码器系统测量值的修正信息的决定方法,上述编码器系统具备设于能实质上沿规定平面移动的移动体、对具有把规定方向作为周期方向的栅格的标尺照射检测光并接收来自上述标尺的反射光的读头,测量上述移动体在关于与上述规定平面平行的平面内规定方向的位置信息,所述决定方法的特征在于包括:
    使上述移动体变化为不同的多姿势,针对各姿势,在维持上述移动体的姿势的状态下,一边从作为对象的读头对上述标尺的特定区域照射检测光、一边使上述移动体在与上述规定平面正交方向以规定行程范围移动,在上述移动中对上述编码器系统的测量结果进行取样的步骤;以及
    基于上述取样结果,通过进行规定的运算,求取与上述移动体的规定方向不同的方向的位置信息对应的上述编码器系统的测量值的修正信息的步骤。

    88、  根据权利要求87所述的决定方法,其特征在于:
    上述移动体的姿势变化,就在与上述规定平面平行的面内的旋转、以及在上述规定方向的倾斜中的至少一方进行。

    89、  一种决定编码器系统测量值的修正信息的决定方法,上述编码器系统具备多个构成具有设于能实质上沿规定平面移动的移动体、对具有以规定方向为周期方向的栅格的标尺照射检测光并接收来自上述标尺的反射光的读头,分别测量与上述规定平面平行的平面内规定方向的位置信息的编码器的读头单元,所述决定方法的特征在于包括:
    使上述移动体变化为不同的多姿势,针对各姿势,在维持上述移动体的姿势的状态下,一边从作为对象的读头对上述标尺的特定区域照射检测光、一边使上述移动体在与上述规定平面正交方向以规定行程范围移动,在上述移动中对上述作为对象的读头构成的编码器测量结果进行取样,将此动作针对上述多个读头进行的步骤;以及
    基于上述取样结果,通过进行规定的运算,求取与上述移动体的规定方向不同的方向位置信息对应的上述多个编码器各自的测量值的修正信息的步骤。

    关 键 词:
    移动 驱动 系统 方法 图案 形成 装置 曝光 组件 制造
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