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    广西11选5走势图查询: 带有背面像素衬底偏置的背面照射型图像传感器.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201010262565.9

    申请日:

    2010.08.24

    公开号:

    CN102237380B

    公开日:

    2015.01.14

    当前法律状态:

    有效性:

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 27/146申请日:20100824|||公开
    IPC分类号: H01L27/146 主分类号: H01L27/146
    申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
    发明人: 赵亦平
    地址: 中国台湾新竹
    优先权: 2010.04.28 US 12/769,380
    专利代理机构: 北京德恒律师事务所 11306 代理人: 陆鑫;熊须远
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201010262565.9

    授权公告号:

    102237380B||||||

    法律状态公告日:

    2015.01.14|||2011.12.21|||2011.11.09

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种带有背面像素衬底偏置的背面照射型图像传感器。图像传感器包括具有前侧和后侧的衬底。图像传感器还包括设置于衬底中的隔离部件。图像传感器进一步包括在衬底中并且临近隔离部件设置的辐射感应区。辐射感应区能感应从背侧投射向辐射感应区的辐射。图像传感器还包括设置于衬底的背侧上方的透明导电层。

    权利要求书

    1.一种图像传感器,包括:
    衬底,具有前侧和背侧;
    隔离部件,设置于所述衬底中;
    辐射感应区,设置于所述衬底中并且临近所述隔离部件,所述辐射感
    应区能感应从所述背侧投射向所述辐射感应区的辐射;以及
    透明导电层,设置于所述衬底的所述背侧上方。
    2.根据权利要求1所述的图像传感器,其中,所述辐射感应区设置为
    最接近所述衬底的前侧,并且其中,所述隔离部件是基本上从所述衬底的
    前侧延伸至所述衬底的背侧的深沟槽隔离件。
    3.根据权利要求1所述的图像传感器,其中,所述衬底包括设置为最
    接近所述背侧的掺杂层,并且其中,所述透明导电层设置于所述掺杂层上,
    其中,所述辐射感应区掺杂有第一类型的掺杂物,并且所述掺杂层掺杂有
    与所述第一类型相反的第二类型的掺杂物。
    4.根据权利要求1所述的图像传感器,其中,所述透明导电层包括氧
    化铟锡材料,
    其中,所述衬底的厚度在大约2.5μm至大约6μm的范围内,
    其中,所述衬底包括像素阵列区和周边区,所述辐射感应区设置于所
    述像素阵列区中;并且其中:
    所述透明导电层设置于所述像素阵列区上方;以及
    所述周边区上基本上没有设置于其上方的所述透明导电层。
    5.一种图像传感器,包括:
    掺杂衬底,具有前侧和背侧;
    设置于所述衬底中的延伸结构,所述延伸结构基本上从所述前侧延伸
    至所述背侧;
    辐射检测装置,设置于所述衬底中并且位于所述延伸结构的旁边,所
    述辐射检测装置能检测穿过所述背侧进入所述衬底的辐射波;以及
    设置于所述衬底的背侧上的层,所述层基本上透明并且基本上导电。
    6.根据权利要求5所述的图像传感器,其中,所述延伸结构包括具有
    电介质材料和空气之一的深沟槽隔离件,以及所述辐射检测装置包括光电
    二极管;其中,所述光电二极管和所述衬底具有相反的掺杂极性,
    所述图像传感器还包括与所述衬底具有相同掺杂极性的钝化层,所述
    钝化层与所述透明导电层形成界面,并且其中,所述钝化层的掺杂浓度在
    使得所述界面基本导电的范围内,
    其中,所述辐射波包括绿光和红光中的一种,并且其中,所述衬底具
    有与以下吸收率之一对应的厚度:对所述绿光而言大约88%和大约100%之
    间的吸收率;以及对所述红光而言大约63%和大约100%之间的吸收率,
    其中,所述层包括氧化铟锡材料;并且其中,所述延伸结构的折射率
    数值大于所述掺杂衬底的折射率数值;并且还包括:
    设置于所述衬底前侧上方的互连结构;以及
    设置于所述衬底背侧上方的滤色器和微透镜。
    7.一种制造图像传感器的方法,包括:
    设置具有前侧和背侧的衬底;
    在所述衬底中形成隔离部件;
    在所述衬底中以及临近所述隔离部件形成辐射感应区,所述辐射感应
    区能感应从所述背侧投射向所述辐射感应区的辐射;以及
    在所述衬底的背侧上方形成透明导电层。
    8.根据权利要求7所述的方法,其中,实施形成所述辐射感应区的步
    骤,使得所述辐射感应区设置于所述衬底的前侧的附近,并且其中,实施
    形成所述隔离部件的步骤,使得深沟槽隔离件基本从所述衬底的前侧延伸
    至所述衬底的背侧,所述方法还包括在形成所述透明导电层之前,形成最
    接近所述衬底的背侧的掺杂层,
    其中,实施形成所述辐射感应区的步骤,使得所述辐射感应区包括第
    一类型掺杂物,并且,实施形成所述掺杂层的步骤,使得所述掺杂层包括
    与第一类型相反的第二类型掺杂物。
    9.根据权利要求7所述的方法,其中,实施形成所述透明导电层的步
    骤,使得所述透明导电层包括氧化铟锡,
    所述方法还包括,在形成所述透明导电层之前,以使所述衬底的厚度
    在减薄后在大约3μm至大约6μm的范围内的方式,减薄所述衬底。
    10.根据权利要求7所述的方法,其中,实施设置所述衬底的步骤,
    使得所述衬底包括像素阵列区和周边区;并且其中,实施形成所述辐射感
    应区的步骤,使得所述辐射感应区形成于所述衬底的像素阵列区中;并且
    其中,以下面的方式实施形成所述透明导电层的步骤:
    所述透明导电层形成于所述像素阵列区上方;以及
    所述周边区上基本没有形成在其上方的所述透明导电层,
    所述方法还包括:
    将第一电压施加于所述周边区;以及
    将第二电压施加于所述透明导电层,所述第二电压不同于所述第一电
    压。

    关 键 词:
    带有 背面 像素 衬底 偏置 照射 图像传感器
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