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    广西11选5助手: 具有光检测器阵列及周边区域的较细和较粗互连线的装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN201010265986.7

    申请日:

    2010.08.25

    公开号:

    CN102194834B

    公开日:

    2015.01.14

    当前法律状态:

    有效性:

    法律详情: 专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):H01L 27/144变更事项:专利权人变更前:全视科技有限公司变更后:豪威科技股份有限公司变更事项:地址变更前:美国加利福尼亚州变更后:美国加利福尼亚州|||授权|||著录事项变更IPC(主分类):H01L 27/144变更事项:申请人变更前:美商豪威科技股份有限公司变更后:全视科技有限公司变更事项:地址变更前:美国加利福尼亚州变更后:美国加利福尼亚州|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 27/144申请日:20100825|||公开
    IPC分类号: H01L27/144; H01L27/146 主分类号: H01L27/144
    申请人: 全视科技有限公司
    发明人: 毛杜立; 文森特·瓦乃兹艾; 霍华德·罗兹; 戴幸志; 钱胤
    地址: 美国加利福尼亚州
    优先权: 2010.03.18 US 12/727,115
    专利代理机构: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 刘国伟
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN201010265986.7

    授权公告号:

    |||102194834B|||||||||

    法律状态公告日:

    2016.12.14|||2015.01.14|||2013.01.02|||2011.11.23|||2011.09.21

    法律状态类型:

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更|||授权|||著录事项变更|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供了具有光检测器阵列及周边区域的较细和较粗互连线的装置。一方面的装置包括:光检测器阵列,以及位于光检测器阵列的周边处的周边区域。对应于光检测器阵列的较细互连线安置于一个或多个绝缘层内。对应于周边区域的较粗互连线安置于所述一个或多个绝缘层内。其它装置、方法及系统也被公开。

    权利要求书

    1.一种装置,其包含:光检测器阵列;周边区域,其位于所述光检测器阵列的周边处;较细互连线,其对应于所述光检测器阵列,所述较细互连线安置于一个或多个绝缘层内;及较粗互连线,其对应于所述周边区域,所述较粗互连线安置于所述一个或多个绝缘层内。2.如权利要求1所述的装置,还包含:较高过孔,其位于所述较细互连线下方;以及较矮过孔,其位于所述较粗互连线下方。3.如权利要求1所述的装置,其中,所述较细互连线与在所述较细互连线正下方的互连线的分隔距离大于所述较粗互连线与在所述较粗互连线正下方的互连线的分隔距离。4.如权利要求1所述的装置,还包含:蚀刻终止层,所述蚀刻终止层在具有所述较细互连线的区域的下方,其中,所述蚀刻终止层不在具有所述较粗互连线的区域的下方。5.如权利要求4所述的装置,还包含:所述蚀刻终止层的在所述较细互连线的正下方的至少一部分,其中在所述较粗互连线的正下方不存在蚀刻终止层。6.如权利要求4所述的装置,其中,在所述较细互连线的正下方不存在蚀刻终止层,并且其中,所述较细互连线的底部表面低于所述蚀刻终止层的底部表面。7.如权利要求4所述的装置,其中,所述蚀刻终止层在所述光检测器阵列的至少大部分上,并且在周边区域的至少大部分上被省略。8.如权利要求4所述的装置,其中,所述一个或多个绝缘层包含硅的氧化物,并且其中,所述蚀刻终止层包含硅的氮化物。9.如权利要求1所述的装置,其中,所述较细互连线和所述较粗互连线为同一连续图案化层的部分。10.如权利要求1所述的装置,其中,所述较细互连线的顶部表面与所述较粗互连线的顶部表面实质上共平面。11.如权利要求1所述的装置,其中,所述较细互连线位于所述光检测器阵列之上或是之下,并且所述较粗互连线位于所述周边区域之上或是之下。12.如权利要求1所述的装置,其中,所述较细互连线经电连接,以比所述较粗互连线载运较少的电流。13.如权利要求1所述的装置,其中,所述较细互连线的粗细度为所述较粗互连线的粗细度的20%至90%。14.如权利要求13所述的装置,其中,所述较细互连线的粗细度为所述较粗互连线的粗细度的30%至70%。15.如权利要求1所述的装置,其中,所述光检测器阵列包含背面照明影像传感器阵列。16.如权利要求1所述的装置,其中,所述光检测器阵列包含正面照明影像传感器阵列。17.一种装置,其包含:光检测器阵列;周边区域,其位于所述光检测器阵列的周边处;图案化金属化层,其位于所述光检测器阵列上并且位于所述周边区域上,其中,在所述光检测器阵列上的图案化金属化层的至少一部分的厚度小于在所述周边区域上的图案化金属化层的至少一部分的厚度。18.一种方法,其包含:在基板的光检测器阵列及周边区域上形成一个或多个绝缘层,所述周边区域位于所述光检测器阵列的周边处;及在所述光检测器阵列上的绝缘层中蚀刻较浅沟槽,并且在所述周边区域上的绝缘层中蚀刻较深沟槽;通过将一个或多个导电材料引入至所述较浅沟槽中来在所述光检测器阵列上形成较细互连线,并且通过将一个或多个导电材料引入至所述较深沟槽中来在所述周边区域上形成较粗互连线。19.如权利要求18所述的方法,还包含:在所述基板上形成所述一个或多个绝缘层中的第一绝缘层;形成蚀刻终止层,所述蚀刻终止层位于所述第一绝缘层的将在其中蚀刻所述浅沟槽的区域上,并且并不位于所述第一绝缘层的将在其中蚀刻所述较深沟槽的区域上;及在所述第一绝缘层上及所述蚀刻终止层上形成所述一个或多个绝缘层中的第二绝缘层。20.如权利要求19所述的方法,其中,选择性地形成所述蚀刻终止层包含:在所述第一绝缘层的将在其中蚀刻所述较深沟槽的区域上形成所述蚀刻终止层;以及从将在其中蚀刻所述较深沟槽的区域移除所述蚀刻终止层。21.如权利要求18所述的方法,还包含:在所述较细互连线下方形成较高过孔,并且在所述较粗互连线下方形成较矮过孔。

    关 键 词:
    有光 检测器 阵列 周边 区域 互连 装置
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