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    广西11选5怎么中奖: 等离子体加工装置.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN200910243830.6

    申请日:

    2009.12.23

    公开号:

    CN102110571B

    公开日:

    2015.01.14

    当前法律状态:

    有效性:

    法律详情: 专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):H01L 21/00变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号变更后:100016 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20091223|||公开
    IPC分类号: H01L21/00; H01J37/32; H01J37/04 主分类号: H01L21/00
    申请人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
    发明人: 张风港
    地址: 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路一号
    优先权:
    专利代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN200910243830.6

    授权公告号:

    |||102110571B||||||

    法律状态公告日:

    2017.10.13|||2015.01.14|||2011.08.10|||2011.06.29

    法律状态类型:

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更|||授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明提供一种等离子体加工装置,包括:相对设置的第一极板和第二极板,其中,所述第一极板包括多个第一子极板,各个第一子极板之间具有间隙,所述各个第一子电极分别与等离子体激励电源连接。所述第二极板包括多个第二子极板,各个第二子极板与所述各个第一子极板一一对应,各个第二子极板之间具有间隙。所述第二子极板与其对应的第一子极板的形状相同或相似,且中心对齐。所述等离子体加工装置能够降低子极板的驻波效应。同时,可以避免大面积极板中心到边缘的气流均匀性较差的问题。

    权利要求书

    1: 一种等离子体加工装置, 其特征在于, 包括 : 相对设置的第一极板和第二极板, 其 中, 所述第一极板包括多个第一子极板, 各个第一子极板之间具有间隙, 所述各个第一子电 极分别与等离子体激励电源连接。
    2: 如权利要求 1 所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 所述第二极板包括多个第二 子极板, 各个第二子极板与所述各个第一子极板一一对应, 各个第二子极板之间具有间隙。
    3: 如权利要求 2 所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 所述第二子极板与其对应的 第一子极板的形状相同或相似, 且中心对齐。
    4: 如权利要求 3 所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 所述各个第二子极板与所述 各个第一子极板的排列方式相同。
    5: 如权利要求 3 所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 所述各个第一子极板的尺寸 小于各个第二子极板的尺寸。
    6: 如权利要求 1-5 任一项所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 所述各个第一子极 板之间的间隙内填充有绝缘材料。
    7: 如权利要求 1 所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 所述第二极板具有多个通气 缝隙, 各个通气缝隙将第二极板分为多个子区域。
    8: 如权利要求 7 所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 各个子区域与各个第一子极 板一一对应。
    9: 如权利要求 8 所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 所述各个子区域与其对应的 第一子极板的形状相同或相似, 且中心对齐。
    10: 如权利要求 9 所述的等离子体加工装置, 其特征在于, 所述各个第一子极板的尺寸 小于各个子区域的尺寸。

    关 键 词:
    等离子体 加工 装置
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