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    广西11选5开奖号码: 一种铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法.pdf

    摘要
    申请专利号:

    广西11选5大小走势图 www.fnjpv.tw CN200910245183.2

    申请日:

    2009.12.29

    公开号:

    CN102110737B

    公开日:

    2015.01.14

    当前法律状态:

    有效性:

    法律详情: 授权|||实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/18申请日:20091229|||公开
    IPC分类号: H01L31/18 主分类号: H01L31/18
    申请人: 中国电子科技集团公司第十八研究所
    发明人: 李巍; 刘兴江; 方小红; 李微
    地址: 300381 天津市南开区李七庄凌庄子道18号
    优先权:
    专利代理机构: 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 代理人: 王来佳
    PDF完整版下载: PDF下载
    法律状态
    申请(专利)号:

    CN200910245183.2

    授权公告号:

    102110737B||||||

    法律状态公告日:

    2015.01.14|||2012.12.12|||2011.06.29

    法律状态类型:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    摘要

    本发明属于一种铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法,配置镀液、选择衬底、在衬底上喷淋镀液,衬底上形成II-VI族化合物薄膜作为太阳电池缓冲层。本发明采用喷淋法制备铜铟镓硒太阳电池缓冲层,利用动态结晶原理,采用喷嘴对传送带上的衬底进行水幕状、圆锥状或圆柱状等立体状态喷淋镀液,使镀液与衬底接触产生结晶,衬底的表面不断与新鲜的镀液相接触,溶液与衬底形成动态平衡,产生类似化学水浴法的沉积形式,在接触面不断有新结晶的晶体生长出,相比传统的化学水浴法,极大提高了生产效率;采用增压计量泵,镀液喷淋量得以控制,使喷淋后得到的II-VI族化合物薄膜厚度、均匀度、致密度得到保障,并且成本低,重复性好。

    权利要求书

    1: 一种铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法, 其特征在于 : 在衬底上喷淋镀液后, 衬 底上形成 II-VI 族化合物薄膜作为太阳电池缓冲层, 制备步骤包括 : (1) 配置镀液 : 将含量 0.001-0.01M 镉盐或锌盐、 1-10 倍于镉盐或锌盐浓度的硫源、 0.001-0.03M 铵盐、 0.001-0.01M 氨水的混合溶液作为镀液, 用镀液加热器加热镀液, 热偶 单元控制镀液温度为 50-100℃ ; (2) 衬底选择 : 选择片状或者卷状玻璃、 聚酰亚胺或者金属箔中一种作为衬底, 平铺在 生产线传送带上, 用加热器加热衬底, 热偶单元控制衬底温度为 50-100℃ ; (3) 喷淋 : 用增压计量泵将 (1) 中加热后的镀液由镀液进泵管道流向镀液出泵管道, 连 接在镀液出泵管道终端的镀液喷嘴喷淋在衬底上, 喷淋时间为 5-60min, 去离子水清洗镀液 后的衬底 ; 清洗后的衬底移至生产线传送带上的干燥箱内, 干燥后的衬底上形成一层厚度 1 0-200nm 的 II-VI 族化合物薄膜, 即铜铟镓硒太阳电池缓冲层。
    2: 根据权利要求 1 所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法, 其特征在于 : 所述 (3) 中进泵管道和出泵管道外面包有加热套或者管道内置加热丝, 热偶单元控制加热套或热丝 温度, 保持管道内镀液温度为 50-100℃。
    3: 根据权利要求 1 所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法, 其特征在于 : 所述 (1) 和 (2) 中加热器为恒温水箱、 加热板, 热鼓风, 红外加热器, 微波加热器或者隧道加热器中 一种。
    4: 根据权利要求 1 所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法, 其特征在于 : (2) 中金 属箔为铜箔、 不锈钢箔或钛箔中一种。
    5: 根据权利要求 1 所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法, 其特征在于 : 所述 (1) 中镉盐为醋酸镉, 氯化镉, 硫酸镉或硝酸镉中一种 ; 锌盐为醋酸锌, 氯化锌, 硫酸锌或硝酸锌 中一种 ; 硫源为硫脲, 硫醇, 硫醚或硫代乙酸铵中一种。
    6: 根据权利要求 2 所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法, 其特征在于 : 所述加 热套为红外加热套、 微波加热套或者热风加热套中一种。
    7: 根据权利要求 1 所述的铜铟镓硒太阳电池缓冲层的制备方法, 其特征在于 : 所述 (3) 中喷嘴为两个以上扁口喷嘴、 锥口喷嘴、 柱状喷嘴或高压喷嘴中的一种。

    关 键 词:
    一种 铜铟镓硒 太阳电池 缓冲 制备 方法
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